磁傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)療、國防軍事等領(lǐng)域。新興的磁電聲表面波(MSAW)傳感器不僅具有微型化、靈敏度高等優(yōu)點,而且天生繼承了聲表面波傳感器的優(yōu)勢,具有無源、無線讀取、測量范圍廣、維護方便等特點,是目前唯一的無源無線磁場傳感技術(shù)。因此,研究磁電聲表面波傳感器及其無線測試技術(shù)具有重要的意義。本論文的主要工作如下:首先,通過在SAW諧振器上依次沉積了 SiO2絕緣層、[FeCoSiB/SiO2]n磁致伸縮多層膜,制作了一種單端口諧振型磁電聲表面波傳感器。為了探究磁各向異性對磁聲響應(yīng)的影響,采用不同方向的誘導磁場制作了三類MSAW傳感器,獲得了“蝴蝶型”和“迴線型”fR-H曲線,討論了誘導各向異性、形狀各向異性和垂直各向異性的相互競爭關(guān)系及對磁傳感特性的影響。其次,設(shè)計了一種與MSAW傳感器相匹配的無線問詢系統(tǒng)。該系統(tǒng)發(fā)射端采用DDS驅(qū)動鎖相環(huán)倍頻技術(shù),倍頻信號由末端功率放大器進行放大,輸出窄帶脈沖信號。接收端采用下變頻解調(diào)結(jié)構(gòu),包括低噪聲放大器(LNA)、混頻器、鎖相環(huán)本振電路和ADC采樣電路。ADC采樣數(shù)據(jù)由基于FPGA設(shè)計的FFT算法模塊進行處理,提取差頻信號的頻率值。通過AD...

【文章頁數(shù)】：83 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１基于ＬｉＮｂ０３延遲線的ＭＳＡＷ器件⑻７０?ＭＨｚ測試結(jié)果；（ｂ）?３階諧波測試結(jié)果口??

術(shù)極少應(yīng)用于磁電ＳＡＷ的檢測，因此本文的研??究目標在于搭建高速、便攜測試的無線問詢系統(tǒng)。??１．２國內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過外加磁場控制相速度，以實現(xiàn)磁傳感的....

圖１－２?Ｍｉｃｈｉｏ?Ｋａｄｏｔａ等人設(shè)計的（ａ）?ＭＳＡＷ器件結(jié)構(gòu)；（ｂ）?３種叉指電極結(jié)構(gòu)［２６】??

術(shù)極少應(yīng)用于磁電ＳＡＷ的檢測，因此本文的研??究目標在于搭建高速、便攜測試的無線問詢系統(tǒng)。??１．２國內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??１．２．１磁電聲表面波傳感器??１９７５年，Ｋ．Ｇａｎｇｕｌｙ等人提出了在聲表面波器件延遲線表面沉積磁致伸縮薄??膜，通過外加磁場控制相速度，以實現(xiàn)磁傳感的....

圖１－５?ＡｌＮ／ＦｅＧａＢ雙層結(jié)構(gòu)的ＭＥＭＳ諧振型磁場傳感器［２８］??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場與器件Ｑ值的關(guān)系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測試結(jié)果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側(cè)［一?一?....

圖１－３?（ａ）?ＭＳＡＷＱ值；（ｂ）Ｎｉ電極頻率－磁場曲線；（ｃ）?ＴｂＦｅ２電極頻率－磁場曲線［２６〗??

?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場與器件Ｑ值的關(guān)系，并且比較了采用??ＴｂＦｅ２電極的器件的性能，證明Ｎｉ電極ＭＳＡＷ器件磁敏性能優(yōu)于ＴｂＦｅ２電極的??ＭＳＡＷ器件［２６］，測試結(jié)果如圖１－３所示。????４００．????麵［??Ｂ，?４００???１側(cè)［一?一?....

本文編號：4047034