發(fā)布時間：2024-12-21 21:44

　　應(yīng)用于納電子器件制造的浮動電勢介電泳(Floating potential dielectrophoresis,FPDEP)操控和組裝具有簡便、成本低廉、不損傷納米材料和可大批量處理等特點。在大規(guī)模裝配制造中,由于器件尺寸小,電極陣列密度高,傳統(tǒng)的裝配方法一次性一般只能成功裝配少量器件,且需要眾多的分離電極引線,這為制造工藝帶來了極大困難。而本論文中所研究的浮動電勢介電泳方法將交變電場施加在源極與柵極之間,利用漏極與柵極之間的電容耦合形成浮動電勢,驅(qū)動納米線裝配至每對電極間,實現(xiàn)硅片級的大規(guī)模裝配。本論文主要以基于五種典型納米管/線(Ag納米線、ZnO納米線、SWCNT、Cu納米線和CuO納米線)的浮動電勢介電泳納米操控的基本原理和應(yīng)用研究為主線,圍繞浮動電勢介電泳力建模、電流體動力學(xué)效應(yīng)和布朗運動干擾、浮動電勢介電泳環(huán)境的納米線極化模型、芯片制作、五種納米管/線裝配需要的理論指導(dǎo)相關(guān)參數(shù)、實驗平臺的制作等科學(xué)問題及應(yīng)用技術(shù)展開了研究工作。主要工作如下:(1)在浮動電勢介電泳基本原理方面,系統(tǒng)地研究了浮動電勢介電泳的電場分布規(guī)律、納米管/線的電極化和等效極矩描述方法、浮動電勢介電泳力模型...

【文章頁數(shù)】：79 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１納米機器人的典型操作模式：推／拉⑷；拾起－釋放（／））??Ｆｉｇ．?１．１?Ｔｙｐｉｃａｌ?ｍｏｄｅｓ?ｏｆ?ｎａｎｏｒｏｂｏｔｉｃ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎ：?ｐｕｓｈ／ｐｕｌｌ（ａ），?ｐｉｃｋ－ｕｐ?ａｎｄ?ｒｅｌｅａｓｅ（Ａ）??

械、熱、聲、光、水力學(xué)、電磁以及這些效應(yīng)的組合等多種方式［７１。??基于機械效應(yīng)的納米操作技術(shù)的一個典型例子是基于納米機器人的納米操作，其代表??性操作模式見圖１．１。納米機器人已成功用于碳納米管和螺旋納米結(jié)構(gòu)的操作和表征，如圖??１．２所示。納米機器人操作技術(shù)的應(yīng)用目標是加工制....

圖１．４結(jié)合壓力流的超聲駐波分離原理示意圖：波節(jié)（ａ）；波腹（ｂ）??

?Ｏｂｊｅｃｔ?Ｉｃｅ?ｔｗｅｅｚｅｒ??圖１．３冰鑷的原理示意圖??Ｆｉｇ．?１．３?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ?ｏｆ?ｆｒｅｅｚｅ?ｔｗｅｅｚｅｒｓ??超聲駐波分離和捕獲是基于聲學(xué)效應(yīng)的非接觸式微／納米操作技術(shù)之一。其基本原理是??利用液體的壓強波動對粒子產(chǎn)生....

圖15場流分餾的原理示意圖

圖１．６光鑷的原理示意圖（ａ）；光鑷的移動操作和轉(zhuǎn)動操作（ｂ）??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ?ｔｗｅｅｚｅｒ?（ａ）；?Ｔｒａｎｓｌａｔｉｏｎａｌ?ａｎｄ?ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎｓ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ??ｔ....

圖１．６光鑷的原理示意圖（ａ）；光鑷的移動操作和轉(zhuǎn)動操作（ｂ）??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ?ｔｗｅｅｚｅｒ?（ａ）；?Ｔｒａｎｓｌａｔｉｏｎａｌ?ａｎｄ?ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎｓ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ??ｔｗｅｅｚｅｒ（ｂ）??

—°??圖１．５場流分餾的原理示意圖??Ｆｉｇ．?１．５?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｆｉｅｌｄ－ｆｌｏｗ?ｆｒａｃｔｉｏｎａｔｉｏｎ??Ｕｏｆｎｉｔｊａｔｅｓ?ｔ?，?■－＇ＺＴｗＫｍ?Ｎ??嚴。＾ｖ＾０００＂１：、夕?：４?ｊ§??，?ｗａｖｅ?ｆｒｏｎｔ??ｉ....

本文編號：4018951