應(yīng)用于納電子器件制造的浮動(dòng)電勢(shì)介電泳(Floating potential dielectrophoresis,FPDEP)操控和組裝具有簡(jiǎn)便、成本低廉、不損傷納米材料和可大批量處理等特點(diǎn)。在大規(guī)模裝配制造中,由于器件尺寸小,電極陣列密度高,傳統(tǒng)的裝配方法一次性一般只能成功裝配少量器件,且需要眾多的分離電極引線,這為制造工藝帶來(lái)了極大困難。而本論文中所研究的浮動(dòng)電勢(shì)介電泳方法將交變電場(chǎng)施加在源極與柵極之間,利用漏極與柵極之間的電容耦合形成浮動(dòng)電勢(shì),驅(qū)動(dòng)納米線裝配至每對(duì)電極間,實(shí)現(xiàn)硅片級(jí)的大規(guī)模裝配。本論文主要以基于五種典型納米管/線(Ag納米線、ZnO納米線、SWCNT、Cu納米線和CuO納米線)的浮動(dòng)電勢(shì)介電泳納米操控的基本原理和應(yīng)用研究為主線,圍繞浮動(dòng)電勢(shì)介電泳力建模、電流體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和布朗運(yùn)動(dòng)干擾、浮動(dòng)電勢(shì)介電泳環(huán)境的納米線極化模型、芯片制作、五種納米管/線裝配需要的理論指導(dǎo)相關(guān)參數(shù)、實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的制作等科學(xué)問(wèn)題及應(yīng)用技術(shù)展開(kāi)了研究工作。主要工作如下:(1)在浮動(dòng)電勢(shì)介電泳基本原理方面,系統(tǒng)地研究了浮動(dòng)電勢(shì)介電泳的電場(chǎng)分布規(guī)律、納米管/線的電極化和等效極矩描述方法、浮動(dòng)電勢(shì)介電泳力模型...

【文章頁(yè)數(shù)】：79 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．１納米機(jī)器人的典型操作模式：推／拉⑷；拾起－釋放（／））??Ｆｉｇ．?１．１?Ｔｙｐｉｃａｌ?ｍｏｄｅｓ?ｏｆ?ｎａｎｏｒｏｂｏｔｉｃ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎ：?ｐｕｓｈ／ｐｕｌｌ（ａ），?ｐｉｃｋ－ｕｐ?ａｎｄ?ｒｅｌｅａｓｅ（Ａ）??

械、熱、聲、光、水力學(xué)、電磁以及這些效應(yīng)的組合等多種方式［７１。??基于機(jī)械效應(yīng)的納米操作技術(shù)的一個(gè)典型例子是基于納米機(jī)器人的納米操作，其代表??性操作模式見(jiàn)圖１．１。納米機(jī)器人已成功用于碳納米管和螺旋納米結(jié)構(gòu)的操作和表征，如圖??１．２所示。納米機(jī)器人操作技術(shù)的應(yīng)用目標(biāo)是加工制....

圖１．４結(jié)合壓力流的超聲駐波分離原理示意圖：波節(jié)（ａ）；波腹（ｂ）??

?Ｏｂｊｅｃｔ?Ｉｃｅ?ｔｗｅｅｚｅｒ??圖１．３冰鑷的原理示意圖??Ｆｉｇ．?１．３?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ?ｏｆ?ｆｒｅｅｚｅ?ｔｗｅｅｚｅｒｓ??超聲駐波分離和捕獲是基于聲學(xué)效應(yīng)的非接觸式微／納米操作技術(shù)之一。其基本原理是??利用液體的壓強(qiáng)波動(dòng)對(duì)粒子產(chǎn)生....

圖15場(chǎng)流分餾的原理示意圖

圖１．６光鑷的原理示意圖（ａ）；光鑷的移動(dòng)操作和轉(zhuǎn)動(dòng)操作（ｂ）??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ?ｔｗｅｅｚｅｒ?（ａ）；?Ｔｒａｎｓｌａｔｉｏｎａｌ?ａｎｄ?ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎｓ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ??ｔ....

圖１．６光鑷的原理示意圖（ａ）；光鑷的移動(dòng)操作和轉(zhuǎn)動(dòng)操作（ｂ）??Ｆｉｇ．?１．６?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ?ｔｗｅｅｚｅｒ?（ａ）；?Ｔｒａｎｓｌａｔｉｏｎａｌ?ａｎｄ?ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ?ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｏｎｓ?ｏｆ?ｏｐｔｉｃａｌ??ｔｗｅｅｚｅｒ（ｂ）??

—°??圖１．５場(chǎng)流分餾的原理示意圖??Ｆｉｇ．?１．５?Ｓｃｈｅｍａｔｉｃ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｆｉｅｌｄ－ｆｌｏｗ?ｆｒａｃｔｉｏｎａｔｉｏｎ??Ｕｏｆｎｉｔｊａｔｅｓ?ｔ?，?■－＇ＺＴｗＫｍ?Ｎ??嚴(yán)。＾ｖ＾０００＂１：、夕?：４?ｊ§??，?ｗａｖｅ?ｆｒｏｎｔ??ｉ....

本文編號(hào)：4018951