文中綜合考慮變形鏡(DM)薄膜殘余應(yīng)力和表面雜質(zhì)的影響,采用ANSYS有限元分析軟件建立了鍍高反射膜系的變形鏡應(yīng)力分析模型,進(jìn)而基于應(yīng)力-壽命(S-N)曲線和Miner累積損傷理論,分析了波前校正過(guò)程中變形鏡的疲勞損傷特性,并詳細(xì)討論了變形鏡薄膜殘余應(yīng)力和不同尺寸的表面雜質(zhì)對(duì)變形鏡疲勞壽命的影響。研究結(jié)果表明,在熱-機(jī)械耦合作用下,熱效應(yīng)的存在會(huì)加速變形鏡的疲勞損傷。對(duì)于給定的待校正畸變波前,隨著變形鏡薄膜殘余應(yīng)力的增大,變形鏡承受的動(dòng)態(tài)循環(huán)載荷越強(qiáng),其疲勞壽命越短,且殘余應(yīng)力主要對(duì)變形鏡鏡面疲勞壽命影響較大;而當(dāng)變形鏡薄膜殘余應(yīng)力一定時(shí),畸變波前PV值越大,其表面應(yīng)力越大,致使疲勞壽命也隨之縮短。在強(qiáng)激光連續(xù)輻照下,當(dāng)表面雜質(zhì)大于一定尺寸時(shí),變形鏡疲勞壽命隨著雜質(zhì)粒子尺寸的增大而減小,而當(dāng)雜質(zhì)粒子尺寸較小時(shí),則對(duì)變形鏡的疲勞壽命影響不大。此外,薄膜殘余應(yīng)力的存在將進(jìn)一步加劇表面雜質(zhì)對(duì)變形鏡的疲勞損傷。

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【文章目錄】：
0 引言
1 理論模型
    1.1 應(yīng)力分析模型
    1.2 疲勞分析模型
    1.3 變形鏡建模
2 變形鏡疲勞壽命分析
    2.1 殘余應(yīng)力對(duì)變形鏡疲勞壽命的影響
    2.2 表面雜質(zhì)對(duì)變形鏡疲勞壽命的影響
3 結(jié)論



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