為提高微電感傳感器芯片的檢測精度,研究鐵磁性顆粒速度與電感信號幅值大小的關(guān)系,開發(fā)一種微型電感式傳感器芯片,建立了檢測系統(tǒng),通過實驗研究鐵磁性顆粒的速度和由顆粒產(chǎn)生的感應(yīng)脈沖信號幅值之間的關(guān)系。實驗結(jié)果表明:對于相同的鐵顆粒,感應(yīng)脈沖信號的幅值與通過芯片時的速度呈線性負(fù)相關(guān)。研究結(jié)果為改進(jìn)微電感傳感器芯片的檢測精度和靈敏度提供了參考。

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【部分圖文】：

圖1實驗系統(tǒng)圖

實驗選用35μm的鐵顆粒作為待測顆粒。將金屬微粒和纖維進(jìn)行加熱，利用融化狀纖維包裹金屬微顆粒實現(xiàn)固定，并將塑料纖維與移動平臺相連。通過移動平臺控制顆粒的移動速度，將顆粒的移動速度分別設(shè)置為2.5、3、5、6.25、10mm/s。為防止偶然因素對實驗數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差，以相同的速度進(jìn)行....

圖2電感脈沖信號與顆粒速度關(guān)系

如圖2所示，當(dāng)用電感法計數(shù)鐵顆粒時，鐵顆粒產(chǎn)生的電感脈沖信號的幅值隨顆粒通過檢測區(qū)的速度的增加而減小，電感的變化與鐵顆粒通過檢測區(qū)的速度近似線性。當(dāng)鐵顆粒通過檢測區(qū)域時，它們被感應(yīng)線圈產(chǎn)生的交變磁場磁化。由于通過時間不同，鐵顆粒的磁化飽和程度也不同，渦流效應(yīng)也不同。顆粒高速通過感....

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