直線度現(xiàn)場標定是保證其在線測量精度的重要方法。在收發(fā)一體式激光五自由度測量結構的基礎上,針對直線度現(xiàn)場標定中標定平臺引入的阿貝誤差和角錐棱鏡成像誤差,建立了直線度現(xiàn)場標定模型。根據(jù)該標定模型并結合五自由度測量裝置的角度測量結果,提出一種直線度現(xiàn)場標定誤差補償方法。實驗表明,該標定方法使標定系數(shù)誤差減小到0.2%以內,有效提高了直線度現(xiàn)場標定精度。

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【部分圖文】：

圖7QPD1的X向輸出標定系統(tǒng)

圖6RR1的成像誤差4.1.1高精度標定平臺標定實驗

圖1五自由度測量結構

其中：ΔxQ1和ΔzQ1分別定義為QPD1的X向輸出和Z向輸出，kx和kz為待標定的系數(shù)。當測量平臺移動時，X軸方向的直線度誤差δx和Z軸方向的直線度誤差δz可以表示為

圖2QPD1的X向輸出標定原理圖

直線度標定過程中需要對QPD1的X向輸出和Z向輸出分別標定。QPD1的X向輸出標定原理圖如圖2所示，RR1與激光干涉儀角錐棱鏡RR3放置在標定平臺上，同時對標定平臺X向位移進行測量，從而實現(xiàn)激光干涉儀對QPD1的X向輸出的標定。當標定平臺在X向移動時，激光干涉儀測量值Δdx可以表....

圖3QPD1的Z向輸出標定原理圖

圖2QPD1的X向輸出標定原理圖QPD1的Z向輸出標定原理圖如圖3所示，當標定平臺在Z向移動時，激光干涉儀測量值為Δdz,QPD1的Z向輸出標定模型為

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