發(fā)布時間：2024-10-03 06:32

　　 直線度現場標定是保證其在線測量精度的重要方法。在收發(fā)一體式激光五自由度測量結構的基礎上,針對直線度現場標定中標定平臺引入的阿貝誤差和角錐棱鏡成像誤差,建立了直線度現場標定模型。根據該標定模型并結合五自由度測量裝置的角度測量結果,提出一種直線度現場標定誤差補償方法。實驗表明,該標定方法使標定系數誤差減小到0.2%以內,有效提高了直線度現場標定精度。

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【部分圖文】：

圖7QPD1的X向輸出標定系統(tǒng)

圖6RR1的成像誤差4.1.1高精度標定平臺標定實驗

圖1五自由度測量結構

其中：ΔxQ1和ΔzQ1分別定義為QPD1的X向輸出和Z向輸出，kx和kz為待標定的系數。當測量平臺移動時，X軸方向的直線度誤差δx和Z軸方向的直線度誤差δz可以表示為

圖2QPD1的X向輸出標定原理圖

直線度標定過程中需要對QPD1的X向輸出和Z向輸出分別標定。QPD1的X向輸出標定原理圖如圖2所示，RR1與激光干涉儀角錐棱鏡RR3放置在標定平臺上，同時對標定平臺X向位移進行測量，從而實現激光干涉儀對QPD1的X向輸出的標定。當標定平臺在X向移動時，激光干涉儀測量值Δdx可以表....

圖3QPD1的Z向輸出標定原理圖

圖2QPD1的X向輸出標定原理圖QPD1的Z向輸出標定原理圖如圖3所示，當標定平臺在Z向移動時，激光干涉儀測量值為Δdz,QPD1的Z向輸出標定模型為

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