直線度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定是保證其在線測(cè)量精度的重要方法。在收發(fā)一體式激光五自由度測(cè)量結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,針對(duì)直線度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定中標(biāo)定平臺(tái)引入的阿貝誤差和角錐棱鏡成像誤差,建立了直線度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定模型。根據(jù)該標(biāo)定模型并結(jié)合五自由度測(cè)量裝置的角度測(cè)量結(jié)果,提出一種直線度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定誤差補(bǔ)償方法。實(shí)驗(yàn)表明,該標(biāo)定方法使標(biāo)定系數(shù)誤差減小到0.2%以內(nèi),有效提高了直線度現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定精度。

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圖7QPD1的X向輸出標(biāo)定系統(tǒng)

圖6RR1的成像誤差4.1.1高精度標(biāo)定平臺(tái)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)

圖1五自由度測(cè)量結(jié)構(gòu)

其中：ΔxQ1和ΔzQ1分別定義為QPD1的X向輸出和Z向輸出，kx和kz為待標(biāo)定的系數(shù)。當(dāng)測(cè)量平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，X軸方向的直線度誤差δx和Z軸方向的直線度誤差δz可以表示為

圖2QPD1的X向輸出標(biāo)定原理圖

直線度標(biāo)定過程中需要對(duì)QPD1的X向輸出和Z向輸出分別標(biāo)定。QPD1的X向輸出標(biāo)定原理圖如圖2所示，RR1與激光干涉儀角錐棱鏡RR3放置在標(biāo)定平臺(tái)上，同時(shí)對(duì)標(biāo)定平臺(tái)X向位移進(jìn)行測(cè)量，從而實(shí)現(xiàn)激光干涉儀對(duì)QPD1的X向輸出的標(biāo)定。當(dāng)標(biāo)定平臺(tái)在X向移動(dòng)時(shí)，激光干涉儀測(cè)量值Δdx可以表....

圖3QPD1的Z向輸出標(biāo)定原理圖

圖2QPD1的X向輸出標(biāo)定原理圖QPD1的Z向輸出標(biāo)定原理圖如圖3所示，當(dāng)標(biāo)定平臺(tái)在Z向移動(dòng)時(shí)，激光干涉儀測(cè)量值為Δdz,QPD1的Z向輸出標(biāo)定模型為

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