本文關(guān)鍵詞：YBCO涂層導(dǎo)體的化學(xué)溶液沉積制備技術(shù)及超導(dǎo)性能研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

RESEARCHoNSUPERCoNDUCTING PREPAREDBY oFYBCoCoArTEDCoNDUCToR DEPoSITION CHEMICALSoLUTION ADissertationSubmittedto Shaanxi ofScienceand University Technology for of inPartialFulfillmentofthe the Degree Requirement of Science Doctor Engineering Thesis Supervisor：Professor．．L．．．．．u．．．．．Y．．．．a(chǎn)．．．f．．．e．．．n．．．．2．．．．． June，2013 YBCO涂層導(dǎo)體的化學(xué)溶液沉積制備技術(shù)及超導(dǎo)性能研究 摘要 高溫超導(dǎo)涂層導(dǎo)體是基于雙軸織構(gòu)緩沖層模板生長(zhǎng)的類單晶氧化物涂 層，在液氮溫區(qū)具有高臨界電流密度。涂層導(dǎo)體是由金屬基帶／緩沖層 和高性能的YBCO超導(dǎo)層，需要結(jié)合多種材料制備技術(shù)，例如軋制輔助雙 軸織構(gòu)技術(shù)、離子束輔助沉積技術(shù)、脈沖激光沉積、磁控濺射、金屬有機(jī)氣 相沉積和化學(xué)溶液沉積技術(shù)等。目前，YBCO超導(dǎo)層制備技術(shù)主要有兩種， 其中，脈沖激光沉積是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，是探索高性能涂層導(dǎo)體技術(shù)的重 要途徑；化學(xué)溶液沉積技術(shù)以非真空技術(shù)為基礎(chǔ)，是工業(yè)化低成本涂層導(dǎo)體 的主攻方向。由于化學(xué)溶液沉積制備YBCO超導(dǎo)層的工藝過(guò)程具有低成本、 易于控制薄膜組份以及易于實(shí)現(xiàn)連續(xù)制備等特點(diǎn)，因此采用化學(xué)溶液沉積制 備YBCO，已逐漸成為了目前研究的熱點(diǎn)。為了獲得更加優(yōu)異的性能，需要 對(duì)化學(xué)溶液沉積過(guò)程中的材料成相機(jī)理進(jìn)行分析，進(jìn)而探索薄膜制備過(guò)程中 所涉及的傳統(tǒng)前驅(qū)液慢速熱解特性，前驅(qū)膜宏觀缺陷形成，YBCO形核和生 長(zhǎng)，a軸晶形成，以及化學(xué)溶液沉積技術(shù)引入釘扎等問(wèn)題。 為了更加清楚地認(rèn)識(shí)化學(xué)溶液沉積制備YBCO的分解和晶化機(jī)理，優(yōu) 化工藝參數(shù)以提高超導(dǎo)層的性能，，本論文分別采用傳統(tǒng)全氟前驅(qū)液和低氟前 驅(qū)液制備YBCO超導(dǎo)層。采用紅外光譜和熱分析等對(duì)傳統(tǒng)

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