發(fā)布時間：2024-12-02 21:34

　　太赫茲波具有高穿透性、低能性、高信噪比、相干性以及寬帶性等特性,在醫(yī)藥學(xué)、生命科學(xué)、天文學(xué)、移動通訊、軍事領(lǐng)域以及安全檢測等很多方面具有非常好的應(yīng)用價值,而太赫茲波導(dǎo)管是傳輸太赫茲波的重要元器件。傳統(tǒng)加工矩形波導(dǎo)腔體的方法主要有微細(xì)銑削、多層金屬堆疊、光刻等,但這些方法很難實(shí)現(xiàn)尺寸更加微細(xì),精度要求更高的腔體的加工。微細(xì)電解加工可以實(shí)現(xiàn)離子級別的材料去除,因此可以制備尺寸精度以及表面粗糙度非常高的芯模;微細(xì)電鍍/電鑄技術(shù)具備非常高的復(fù)制精度,可以完全復(fù)制芯模形狀及其形貌。針對太赫茲矩形波導(dǎo)微腔體尺寸微細(xì)、表面粗糙度要求高的特點(diǎn),本文采用微細(xì)電化學(xué)加工技術(shù)進(jìn)行波導(dǎo)腔體的制備,主要研究內(nèi)容如下:(1)探索了在微細(xì)鎳芯模表面電鍍金工藝,研究了電流密度、陰陽極間距、電鍍溫度以及陰極轉(zhuǎn)速對電鍍金層表面形貌、表面粗糙度、鍍層均勻性以及鍍層顯微硬度的影響;(2)探索了在電鍍金層表面電鑄銅工藝,研究了電鑄液配方及電流密度對鑄銅層表面形貌、表面粗糙度以及顯微硬度的影響;(3)研究了不同條件下鎳、銅在蝕刻劑TFG中的溶解效果,采用優(yōu)化的工藝條件對波導(dǎo)腔體進(jìn)行選擇性溶解研究。研究發(fā)現(xiàn),在開放式的環(huán)境中,不施加...

【文章頁數(shù)】：91 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1.1金屬平板波導(dǎo)傳輸圖

圖1.1金屬平板波導(dǎo)傳輸圖圖1.2金屬平板波導(dǎo)與THz-TDS相結(jié)合系統(tǒng)圖1.1.2.2太赫茲金屬線波導(dǎo)金屬線波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)相對簡單，制造也相對容易，且能減少太赫茲波在傳輸中的損耗。2004年，Kanglin.Wang和Daniel.M使用直徑0.9mm-6m....

圖1.2金屬平板波導(dǎo)與THz-TDS相結(jié)合系統(tǒng)圖

太赫茲矩形波導(dǎo)微腔體電化學(xué)加工技術(shù).1太赫茲金屬平板波導(dǎo)001年，R.Mendis和D.Grischkowsky成功研發(fā)了金屬平板波導(dǎo)[11]，該波導(dǎo)采用金屬厚24mm的金屬銅板制得，兩塊板平面間隔108μm。在0.1-4THz的帶寬范圍里，觀測到0.茲波在....

圖1.3太赫茲內(nèi)窺鏡

圖1.3太赫茲內(nèi)窺鏡1.1.2.3太赫茲光子晶體波導(dǎo)近來，越來越多的研究人員探索將光子晶體運(yùn)用到太赫茲利通過光子晶體，并且傳輸過程中幾乎沒有損耗。目前，一已經(jīng)出現(xiàn)。2004年，Nemec.H等人通過一維光子晶體研發(fā)了19]，其相對可調(diào)性達(dá)到20%。典型的可用來傳輸太....

圖1.4徑向?qū)ΨQ光導(dǎo)天線

圖1.3太赫茲內(nèi)窺鏡1.1.2.3太赫茲光子晶體波導(dǎo)近來，越來越多的研究人員探索將光子晶體運(yùn)用到太赫茲利通過光子晶體，并且傳輸過程中幾乎沒有損耗。目前，一已經(jīng)出現(xiàn)。2004年，Nemec.H等人通過一維光子晶體研發(fā)了19]，其相對可調(diào)性達(dá)到20%。典型的可用來傳輸太....

本文編號：4013942