中国韩国日本在线观看免费,A级尤物一区,日韩精品一二三区无码,欧美日韩少妇色

當(dāng)前位置:主頁(yè) > 科技論文 > 電子信息論文 >

HfO 2 薄膜熱特性的分子動(dòng)力學(xué)模擬與實(shí)驗(yàn)研究

發(fā)布時(shí)間:2024-11-10 08:38
  HfO2薄膜被廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)以及信息技術(shù)等高新技術(shù)領(lǐng)域,由于各種邊界效應(yīng)等因素的影響其熱特性參數(shù)通常與體材料有很大的不同。因此亞微米薄膜熱物性參數(shù)的測(cè)試成為亟待解決的問(wèn)題,開展相關(guān)研究有利于提高器件的穩(wěn)定性與可靠性,而且對(duì)微尺度傳熱的理論發(fā)展具有十分重要的意義。本文采用分子動(dòng)力學(xué)模擬的方法對(duì)不同物相的HfO2薄膜的熱導(dǎo)率進(jìn)行了探究,計(jì)算了溫度在200-600K,厚度在5.12-31.70nm范圍內(nèi)的單斜相、立方相以及非晶態(tài)HfO2的導(dǎo)熱系數(shù)。模擬結(jié)果表明:單斜相HfO2的熱導(dǎo)率為0.49-1.20W/mK,立方相HfO2的熱導(dǎo)率為1.31-1.96W/mK,而非晶態(tài)HfO2的熱導(dǎo)率為0.17-0.24W/mK。在模擬的尺度范圍內(nèi),不同物相的HfO2薄膜熱導(dǎo)率均呈現(xiàn)出明顯的尺度效應(yīng),但表現(xiàn)出不同的溫度依賴性,這是由于熱容和聲子散射強(qiáng)度隨溫度的升高表現(xiàn)出相對(duì)不同的變化造成的。通過(guò)分子動(dòng)力學(xué)模擬的方法研究了不同條件下HfO2...

【文章頁(yè)數(shù)】:75 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 HfO2性質(zhì)及應(yīng)用
    1.3 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.4 研究目的與研究?jī)?nèi)容
2 HfO2薄膜熱特性研究方法
    2.1 分子動(dòng)力學(xué)方法
        2.1.1 分子動(dòng)力學(xué)基本原理
        2.1.2 分子動(dòng)力學(xué)模擬基本步驟及相關(guān)軟件
        2.1.3 分子動(dòng)力學(xué)模擬關(guān)鍵技術(shù)
        2.1.4 熱導(dǎo)率的分子動(dòng)力學(xué)模擬方法
    2.2 實(shí)驗(yàn)測(cè)試原理
        2.2.1 測(cè)試方法介紹
        2.2.2 瞬態(tài)熱反射法測(cè)試原理及實(shí)驗(yàn)裝置
        2.2.3 測(cè)試參數(shù)的選取
3 HfO2薄膜熱導(dǎo)率的分子動(dòng)力學(xué)模擬
    3.1 晶體模型構(gòu)建與計(jì)算方法
        3.1.1 模型構(gòu)建
        3.1.2 勢(shì)函數(shù)
        3.1.3 模擬過(guò)程與計(jì)算
    3.2 非晶模型構(gòu)建與計(jì)算方法
        3.2.1 HfO2熔點(diǎn)的確定
        3.2.2 非晶模型的構(gòu)建
        3.2.3 模擬過(guò)程與計(jì)算
    3.3 模擬結(jié)果與分析
        3.3.1 HfO2薄膜熱導(dǎo)率的尺度特性
        3.3.2 溫度對(duì)HfO2熱導(dǎo)率的影響
    3.4 無(wú)限長(zhǎng)HfO2薄膜熱導(dǎo)率的計(jì)算
    3.5 本章小結(jié)
4 HfO2/SiO2界面熱阻的分子動(dòng)力學(xué)模擬
    4.1 模型構(gòu)建與計(jì)算方法
        4.1.1 模型構(gòu)建
        4.1.2 勢(shì)函數(shù)
        4.1.3 模擬過(guò)程
    4.2 模擬結(jié)果與分析
        4.2.1 界面形態(tài)對(duì)界面熱阻的影響
        4.2.2 溫度對(duì)界面熱阻的影響
    4.3 本章小結(jié)
5 HfO2薄膜熱導(dǎo)率與界面熱阻的實(shí)驗(yàn)測(cè)量
    5.1 測(cè)試樣品的制備
    5.2 數(shù)據(jù)擬合原理
    5.3 HfO2薄膜表征
        5.3.1 AFM
        5.3.2 XRD
        5.3.3 XPS
    5.4 實(shí)驗(yàn)的誤差分析
    5.5 HfO2薄膜熱導(dǎo)率的測(cè)試
        5.5.1 晶體HfO2熱導(dǎo)率
        5.5.2 非晶HfO2熱導(dǎo)率
    5.6 測(cè)試結(jié)果與理論分析
    5.7 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
致謝



本文編號(hào):4011780

資料下載
論文發(fā)表

本文鏈接:http://www.lk138.cn/kejilunwen/dianzigongchenglunwen/4011780.html


Copyright(c)文論論文網(wǎng)All Rights Reserved | 網(wǎng)站地圖 |

版權(quán)申明:資料由用戶b7634***提供,本站僅收錄摘要或目錄,作者需要?jiǎng)h除請(qǐng)E-mail郵箱bigeng88@qq.com