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基于固定流導(dǎo)元件的容積測量方法研究

發(fā)布時間:2020-12-05 23:54
  在真空科學(xué)、深空探測、石油化工及貿(mào)易運(yùn)輸?shù)阮I(lǐng)域,容積的測量至關(guān)重要。而現(xiàn)有的測量方法中稱重法的測量過程復(fù)雜、耗時長、儀器成本高,膨脹法需要制造多種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)體積、弛豫時間較長、占用空間大,其他測量方法面臨精度不高、受氣體種類限制等問題。本文基于固定流導(dǎo)元件的分子流特性和動態(tài)差壓衰減法對容器進(jìn)行容積測量研究,固定流導(dǎo)元件以陽極多孔氧化鋁(anodic aluminum oxide,AAO)為基底,利用打孔硅片作為掩模和支撐材料制作而成。待測容器通過AAO固定流導(dǎo)元件與壓強(qiáng)恒定的基準(zhǔn)環(huán)境連通,從真空到大氣壓條件下,AAO元件的流導(dǎo)始終保持恒定,AAO元件兩端的動態(tài)差壓衰減和容器容積、元件流導(dǎo)以及時間符合指數(shù)函數(shù)關(guān)系,通過測量AAO元件兩端差壓變化就可計(jì)算待測容器的容積。對不同氣體傳輸速率下的容器內(nèi)部溫度波動進(jìn)行了CFD仿真,在流導(dǎo)為7.5×10-6m3/s時溫度波動不超過0.1K,制作出相應(yīng)流導(dǎo)大小的AAO固定流導(dǎo)元件,搭建基于流量法的流導(dǎo)測量系統(tǒng),對氮?dú)、氦氣和氬氣流?jīng)固定流導(dǎo)元件時的流導(dǎo)進(jìn)行精確測量,對應(yīng)流導(dǎo)分別為1.162×10-... 

【文章來源】:合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:85 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

基于固定流導(dǎo)元件的容積測量方法研究


容積測量應(yīng)用領(lǐng)域Fig.1.1Applicationfieldofvolumetricmeasurement

系統(tǒng)圖,容積測量,稱重法,系統(tǒng)圖


第一章 緒論,屬于直接測量,它們只能實(shí)現(xiàn)對形狀規(guī)則、簡單的容器或者物體的容當(dāng)測量形狀、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的容器時,誤差較大,而且成本較高,測量時間復(fù)雜。由于稱重法、膨脹法、定流量充(放)氣法、聲速(充)排氣法科學(xué)研究和工程實(shí)際中應(yīng)用廣泛,分別對其詳細(xì)介紹。.1 稱重法稱重法的原理是以液體(通常是水)為介質(zhì),在被測容器未裝介質(zhì)時稱,灌滿液體之后再稱出容器質(zhì)量,根據(jù)容器承載的液體質(zhì)量和密度,計(jì)體積,即為被測容積。以液體為介質(zhì)雖然精度較高、成本低、綠色環(huán)保很難充滿結(jié)構(gòu)復(fù)雜的容器,容易產(chǎn)生氣泡,導(dǎo)致測量誤差變大,而且殘影響容器的使用。而使用高純氣體作為介質(zhì)時,不會污染容器也不會產(chǎn),測量精度高,因此被國內(nèi)外許多計(jì)量機(jī)構(gòu)、研究院所廣泛采用[12]。

原理圖,氣體微流量計(jì),原理圖,容積


別表示充氣前、后的壓力和溫度。家技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究院分別將高純 N2和 Ar 作為實(shí)驗(yàn)氣體,利77L 標(biāo)準(zhǔn)室的 PVTt 系統(tǒng)進(jìn)行了容積標(biāo)定,保證了氣體流量為 0.02%~0.05%[14-16]。日本的 Masahiro Ishibashi,和 Toshi了氣體稱重法對配置有11立方米標(biāo)準(zhǔn)室的PVTt氣體流量17]。法也是在工程實(shí)際和科研工作中常用的一種容積測量方法,準(zhǔn)體積作為參考。基本原理是:在容積為 V 的容器中充入為 p0,然后將其與抽至真空的容積為 V0的標(biāo)準(zhǔn)容器連通降至 p。根據(jù)理想氣體狀態(tài)方程和質(zhì)量守恒定律,計(jì)算被測的趙瀾等人對下圖所示的氣體微流量計(jì)系統(tǒng)進(jìn)行了容積標(biāo)測容器,采用多級膨脹的方法進(jìn)行測量,其不確定度為

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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博士論文
[1]流體在納米微通道中的流動及傳輸特性研究[D]. 張忠強(qiáng).大連理工大學(xué) 2010
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碩士論文
[1]基于AAO的標(biāo)準(zhǔn)漏孔制作及其性能研究[D]. 趙永恒.合肥工業(yè)大學(xué) 2017
[2]三維激光掃描技術(shù)在立式金屬罐容量計(jì)量中的應(yīng)用研究[D]. 周曉雪.中國計(jì)量學(xué)院 2014
[3]高精度氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置的建立[D]. 陳超.天津大學(xué) 2012



本文編號:2900318

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