光刻膠剝離液是光電及半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的一類功能性濕電子化學(xué)品。隨著全球光電及半導(dǎo)體工業(yè)井噴式發(fā)展,所產(chǎn)生的光刻膠剝離液廢液量也隨之增多。光刻膠剝離液廢液的成分復(fù)雜且多為有機物,若處置不當(dāng)將可能給環(huán)境帶來較大的影響。如何環(huán)保而又經(jīng)濟地處置剝離液廢液對構(gòu)建完整的半導(dǎo)體生態(tài)產(chǎn)業(yè)鏈具有重要意義。為此,本文在現(xiàn)有回收處理工藝的基礎(chǔ)上,探究了光刻膠剝離液廢液高效回收工藝。主要研究工作如下:首先,使用ASPEN PLUS對現(xiàn)有回收工藝進行了穩(wěn)態(tài)模擬,將結(jié)果與某廠現(xiàn)場裝置采集數(shù)據(jù)比對,驗證了模擬方法的有效性。據(jù)此提出了應(yīng)用隔壁塔取代現(xiàn)有雙塔流程的新工藝,并先后使用Petlyuk模型和四塔模型進行了穩(wěn)態(tài)模擬。通過靈敏度分析探究了隔壁塔六個重要參數(shù)的可變范圍,并簡要分析了各參數(shù)對側(cè)線產(chǎn)品品質(zhì)和隔壁塔能耗的影響。其次,在靈敏度分析結(jié)果的基礎(chǔ)上,通過響應(yīng)面法對隔壁塔的重要參數(shù)進行了優(yōu)化設(shè)計。設(shè)計了 8因素3水平共120組試驗,結(jié)合方差分析,辨識了響應(yīng)的影響顯著項。在產(chǎn)品品質(zhì)的約束下,以年總費用為目標(biāo)函數(shù),得到了各參數(shù)的最優(yōu)解。并對現(xiàn)有流程和隔壁塔流程進行了經(jīng)濟評價,結(jié)果表明隔壁塔流程的經(jīng)濟效益佳。最后,利用...

【文章頁數(shù)】：102 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－２功能性濕電子化學(xué)品細分產(chǎn)品市場規(guī)模??

第一章緒論??半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最大的消費國［８］，對濕電子化學(xué)品的需求量正逐年遞增。??８０１???％：?ｙ?ｉｉｓｉｓｉｉｆ?Ｉ??６０：?１?｜??Ｉ?圓?｜?ｊ「｜??；：＾＾ｒ｜ｒ｜ｒ｜?Ｉ?Ｉ??２〇ｆｉ?ｔ?ｉ?ｔ?ｉ?ｉ?ｆ??：謂?ｉ，，，，，國??２０１１?２０１２?....

圖１－４液晶面板廠廢有機溶劑回收工藝Ｎｌ（ａ）低沸點目標(biāo)組分（ｂ）高沸點目標(biāo)??組分（ｃ）單一目標(biāo)產(chǎn)品??Ｆｉｇ．?１－４?Ｒｅｃｏｖｅｒｊ＇?ｐｒｏｃｅｓｓ?ｏｆ?ｗａｓｔｅ?ｏｒｇａｎｉｃ?ｓｏｌｖｅｎｔ?ｉｎ?ＬＣＤ?ｐａｎｅｌ?ｆａｃｔｏｒ｝�。保常�??（ａ）?Ｌｏｗｅｒ?ｂｏｉｌｉｎｇ?ｐｏｉｎｔ?ｔａｒｇｅｔ?ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ?（ｂ）?Ｈｉｇｈｅｒ?ｂｏｉｌｉｎｇ?ｐｏｉｎｔ?ｔａｒｇｅｔ??

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圖１－６光刻膠廢剝離液回收工藝ｌ｜６ｌ（ａ）串聯(lián)三塔流程（ｂ＞串聯(lián)雙塔流程??

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