隨著現(xiàn)代先進(jìn)光學(xué)技術(shù)的發(fā)展,光學(xué)元件的需求量日益遞增,各種超精密光學(xué)元件被廣泛應(yīng)用于不同種類的光電系統(tǒng)中,同時(shí)對(duì)相關(guān)光學(xué)元件的加工面形精度、口徑范圍、面型復(fù)雜程度也提出了更高的要求。目前的光學(xué)研拋加工技術(shù)如計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成型技術(shù)、應(yīng)力盤拋光技術(shù)、氣囊拋光技術(shù)、磁流變拋光技術(shù)、離子束拋光技術(shù)等已成為現(xiàn)代先進(jìn)光學(xué)研制技術(shù)中主流的光學(xué)加工方法,而這些研拋技術(shù)在加工效率、加工成本、以及拋光頭對(duì)工件口徑和面形的加工適用性等方面都存在或多或少的缺陷。盡管工業(yè)機(jī)器人加工方式價(jià)格低,其自由度高,加工口徑范圍廣,但因其剛度偏低,研拋壓力及其去除函數(shù)的穩(wěn)定性不易控制,故而往往被應(yīng)用于對(duì)加工精度要求不高的模具等拋光當(dāng)中,難以對(duì)精度要求較高的光學(xué)元件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)研拋加工。為此,本文在深入研究了機(jī)器人柔性研拋加工的材料去除機(jī)理的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了一款研拋壓力主動(dòng)可控、材料去除效率高,研拋效果好的工業(yè)機(jī)器人柔性研拋加工工具,具備研拋壓力精度高,響應(yīng)快,去除函數(shù)穩(wěn)定性較強(qiáng)的特點(diǎn)。并通過開展研拋加工工藝實(shí)驗(yàn),為該機(jī)器人柔性研拋加工技術(shù)投入到實(shí)際的光學(xué)加工領(lǐng)域奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。本文主要的研究?jī)?nèi)容如下:(1)通過對(duì)機(jī)器人柔性研...

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

圖1-1大型天文望遠(yuǎn)鏡

圖1-2CCOS加工設(shè)備

圖1-3SLP設(shè)備

圖1-4氣囊拋光

本文編號(hào)：3886226