【摘要】：研究了MEMS擺鏡在未來小型化激光成像雷達(dá)的系統(tǒng)中的應(yīng)用。首先介紹了MEMS擺鏡自身的器件特性,結(jié)合脈沖成像激光雷達(dá)的應(yīng)用背景,分析了系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)要注意的問題。進(jìn)一步設(shè)計(jì)了MEMS擺鏡的驅(qū)動(dòng)模塊,通過仿真和成像驗(yàn)證了李薩如掃描圖形的應(yīng)用。
[Abstract]:The application of MEMS pendulum mirror in the system of miniaturized laser imaging radar in the future is studied. Firstly, the characteristics of MEMS pendulum are introduced, and the problems in the system design are analyzed according to the application background of pulsed imaging lidar. Furthermore, the driving module of MEMS pendulum mirror is designed, and the application of Lisaru scanning pattern is verified by simulation and imaging.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院紅外探測(cè)與成像技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室中科院上海技術(shù)物理研究所;中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【分類號(hào)】：TN958.98

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