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過渡金屬離子注入β-Ga 2 O 3 的磁性分析

發(fā)布時間:2024-06-15 02:14
  稀磁半導體(Dilute Magnetic Semiconductors,DMSs)是一種優(yōu)良的自旋電子學的后備材料,已成為當今微電子科學的熱點。它有著半導體的能帶結構,而且晶格常數也與基體半導體類似,不僅在制造器件時能夠很好的和現有的半導體技術兼容,而且兼有磁性材料的特性。但是對其磁性研宄一直有一些難題沒有攻克,例如制備居里溫度高于室溫的DMS,并對其鐵磁耦合機制進行闡明。氧化鎵(Ga2O3)一種III-V族寬禁帶半導體材料,其禁帶寬度為4.9 eV,其優(yōu)異的導電性和發(fā)光性能長期以來一直引起關注。β-Ga2O3材料具有巨大的工業(yè)應用發(fā)展空間,如果能通過離子注入摻雜使其具備室溫鐵磁性,使其不但具有半導體的性質而且兼顧磁性材料的性質,將成為一種新型的稀磁半導體材料,Ga2O3基稀磁半導體材料的應用也將迎來一個全新的發(fā)展。離子注入技術可控性更高,整個注入過程,注入深度、離子濃度、能量選擇、注入離子分布可以得到很好的控制,結合這些優(yōu)勢,可利用離子注入技術將過渡金...

【文章頁數】:68 頁

【學位級別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
ABSTRACT
符號對照表
縮略語對照表
第一章 緒論
    1.1 稀磁半導體的發(fā)展
        1.1.1 稀磁半導體簡介
        1.1.2 典型稀磁半導體材料的發(fā)展史與研究現狀
    1.2 Ga2O3半導體的性質和應用前景
        1.2.1 Ga2O3的結構和性質
        1.2.2 Ga2O3的應用前景
    1.3 Ga2O3基稀磁半導體的研究進展
    1.4 論文的結構及安排
第二章 過渡金屬離子注入β-Ga2O3的制備方案和表征方法
    2.1 過渡金屬離子注入β-Ga2O3實驗方案
        2.1.1 Mn離子注入SRIM仿真及實驗方案
        2.1.2 Cr離子注入SRIM仿真及實驗方案
    2.2 離子注入技術
        2.2.1 離子注入機的原理
        2.2.2 離子注入技術的優(yōu)勢
    2.3 材料的表征方法
        2.3.1 X-射線衍射(XRD)
        2.3.2 拉曼光譜散射(Raman)
        2.3.3 超導量子干涉儀
        2.3.4 光致發(fā)光光譜(PL)
        2.3.5 透射電子顯微鏡(TEM)
        2.3.6 二次離子質譜(SIMS)
    2.4 本章小結
第三章 錳離子注入Ga2O3稀磁半導體結構分析和磁性研究
    3.1 錳離子注入樣品的材料分析
        3.1.1 拉曼測試分析
        3.1.2 TEM測試分析
        3.1.3 注入Mn離子的分布
    3.2 錳離子注入樣品的磁性分析
    3.3 交換偏置效應
    3.4 實驗結果分析
    3.5 本章小結
第四章 鉻離子注入Ga2O3稀磁半導體結構分析和磁性研究
    4.1 鉻離子注入樣品的材料分析
        4.1.1 X-射線衍射測試分析
        4.1.2 拉曼測試分析
        4.1.3 光致發(fā)光光譜(PL)測試分析
    4.2 鉻離子注入樣品的磁性分析
    4.3 本章小結
第五章 總結
    5.1 本文工作總結
    5.2 下一步工作展望
參考文獻
致謝
作者簡介



本文編號:3994770

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