利用復(fù)合磨粒拋光液的硅片化學(xué)機(jī)械拋光
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文章編號(hào)。保埃埃椽玻梗玻矗兀ǎ玻埃埃梗埃藩玻保担福藩玻埃
第17卷 第7期
光學(xué)精密工程
Vol.17 No.7
Jul.2009
利用復(fù)合磨粒拋光液的硅片化學(xué)機(jī)械拋光
許雪峰,馬冰迅,黃亦申,彭 偉
(浙江工業(yè)大學(xué)機(jī)械制造及自動(dòng)化教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,浙江杭州310032)
摘要:為了提高硅片的拋光速率,,利用復(fù)合磨粒拋光液對(duì)硅片進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光。分析了SiO2磨粒與聚苯乙烯粒子在觀察到S溶液中的ζ電位及粒子間的相互作用機(jī)制,iO2磨粒吸附在聚苯乙烯及某種氨基樹脂粒子表面的現(xiàn)象。通過向單一磨粒拋光液中加入聚合物粒子的方法獲得了復(fù)合磨粒拋光液。對(duì)硅片傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光與利用復(fù)合磨粒拋光液的化學(xué)機(jī)械拋光進(jìn)行了拋光性能研究,提出了利用復(fù)合磨粒拋光液的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的材料去除機(jī)理,并分析了拋光工藝參數(shù)對(duì)拋光速率的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,利用單一S/;利用iO80nmmin2磨料拋光液對(duì)硅片進(jìn)行拋光的拋光速率為1/SiO73nmmin和3242磨料與聚苯乙烯粒子或某氨基樹脂粒子形成的復(fù)合磨粒拋光液對(duì)硅片進(jìn)行拋光的拋光速率分別為2/。結(jié)果表明,利用復(fù)合磨粒拋光液對(duì)硅片進(jìn)行拋光提高了拋光速率,并可獲得犚nmmin.2nm的光滑表面。a為0關(guān) 鍵 詞:化學(xué)機(jī)械拋光;硅片;復(fù)合磨粒;聚合物粒子中圖分類號(hào):TN305.2 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A
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(usedinChemicalMechanicalPolishinCMP).Zetapotentialsofsilicaabrasivesandpolstrenepargyy,ticlesintheslurreremeasuredatvariouspHvaluesandthemechanismofinteractionsbetweenywsilicaabrasivesandpolmerarticleswasanalzed.Smallsilicaabrasiveswereobservedtoattachontoypy
thecomositeabrasiveslurrthesurfacesofthepolstreneparticlesandsomeresinparticles.Then,pyyywasobtainedbddinomepolmerarticlesintosinleabrasiveslurr.Incomarisonwiththepolyagsypgyp
,ishinerformanceoftraditionalCMPandCMPusinomositeabrasiveslurrthemechanismofgpgcpy,materialremovalofCMPusinomositeabrasiveslurrasproosedandtheinfluenceofcraftpagcpywprametersonthepolishinatewasstudiedthrouhtheexeriments.Exerimentalresultsindicategrgpp
/,//minwithsinlesilicaabrasiveslurrand273nmmin,324nmminthatthepolishinateis180nmgygr//rwiththesilicaabrasiveolstreneparticlecomositeslurrndsilicaabrasiveesinparticlecompyypyaositeslurresectivel.Thesedatashowthattheremovalratewithcomositeabrasiveslurrisimpyrpypyrovedsinificantlndthewafersurfacerouhness犚ais0.2nm.pgyag
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修訂日期:20080805;20080927. 收稿日期:
浙江省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目()No.Y105551;No.Z1080625 基金項(xiàng)目:
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本文編號(hào):105702
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