發(fā)布時(shí)間：2024-12-07 06:17

　　 基于永磁直線電機(jī)(PMLM)的龍門式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于芯片封裝領(lǐng)域,但由于兩PMLM間存在橫梁機(jī)械耦合,因此較難實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的快速響應(yīng)和精準(zhǔn)同步。以龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為研究對(duì)象,設(shè)計(jì)三環(huán)閉合控制回路后,提出一種基于模糊前饋的控制策略,同時(shí)輔以交叉耦合同步控制器,實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的快速同步性能。對(duì)傳統(tǒng)PID同步控制和基于模糊前饋的同步控制算法進(jìn)行對(duì)比分析,仿真結(jié)果表明:模糊前饋控制階躍響應(yīng)的上升時(shí)間為48.5 ms,比傳統(tǒng)PID控制縮短了65%;交叉耦合同步算法在保證定位精度的同時(shí),使得系統(tǒng)具有良好的同步跟隨性能和較強(qiáng)的抗干擾能力,基本滿足芯片封裝高速高精度的要求。

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【部分圖文】：

圖1 雙PMLM龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制系統(tǒng)

雙PMLM龍門式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用全閉環(huán)控制系統(tǒng),其結(jié)構(gòu)框圖如圖1所示,包括工控機(jī)、運(yùn)動(dòng)控制卡、端子板、驅(qū)動(dòng)器、反饋裝置和直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。其中,工控機(jī)是上位機(jī),運(yùn)動(dòng)控制卡通過(guò)以太網(wǎng)與工控機(jī)進(jìn)行連接,接受上位機(jī)的指令信號(hào);運(yùn)動(dòng)控制卡以CAN總線的方式與驅(qū)動(dòng)器連接,向驅(qū)動(dòng)器輸入模擬量DA....

圖2 龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)雙軸受力

雙PMLM驅(qū)動(dòng)的龍門式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)主要由兩個(gè)Y軸直線電機(jī)和一個(gè)X軸直線電機(jī)以及橫梁結(jié)構(gòu)構(gòu)成,其中,橫梁與兩Y軸方向運(yùn)動(dòng)塊的連接處皆為旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)。當(dāng)平臺(tái)進(jìn)行同步運(yùn)動(dòng)時(shí),若兩軸運(yùn)動(dòng)位置出現(xiàn)不一致,則其受力分析如圖2所示。其中:m1和m2分別是PMLM1和PMLM2的動(dòng)子質(zhì)量;y1和y2分別....

圖3 龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)雙PSLSM的控制過(guò)程

龍門式運(yùn)動(dòng)平臺(tái)雙PMLM的控制過(guò)程如圖3所示,在驅(qū)動(dòng)電流iq1和iq2以及摩擦力f和變形力fm的作用下,兩PSLSM分別輸出位移y1和y2。2雙PMLM同步控制策略研究

圖4 交叉耦合同步控制系統(tǒng)

由文獻(xiàn)[8]知同步控制方式有同等控制、主從控制和交叉耦合控制,由于龍門運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有時(shí)變性和非線性的特點(diǎn),采取交叉耦合的控制方式可以取得更好的控制效果[15]。如圖4所示,構(gòu)建一種交叉耦合同步控制器,將雙直線電機(jī)的位置輸出的差值作為輸入信號(hào),經(jīng)過(guò)PID調(diào)節(jié),分別對(duì)兩軸的位置輸入進(jìn)行....

本文編號(hào)：4014939