透明柔性電子器件因可彎曲和視覺觀感好等優(yōu)點,使之具有廣闊的應(yīng)用前景。實現(xiàn)可彎曲、透明和無毒薄膜晶體管(TFT)是綠色透明柔性顯示的關(guān)鍵。本論文主要對基于摻鋁氧化鋅(AZO)電極的透明和柔性TFT制備工藝進行了研究,通過設(shè)計新型電極結(jié)構(gòu)、優(yōu)化制備手段和工藝參數(shù),實現(xiàn)制備高透射率、高性能和可彎曲TFT器件。本文首先設(shè)計了一種物理氣相沉積(PVD)制備的AZO/Al/AZO/Al/AZO疊層透明源漏電極,其中納米Al中間層提供的載流子可提高薄膜導(dǎo)電性;并且Al層和AZO之間的等離子耦合效應(yīng)可改善透射率。實驗結(jié)果表明,當(dāng)在60 nm AZO中插入2層4 nm的Al層時,疊層薄膜的透射率可達82.64%,其薄膜電阻率為6.64×10^-3??cm,功函數(shù)降低至3.95 eV。采用PVD的透明疊層源漏極IGZO-TFT器件飽和遷移率(μ_sat)為3.2cm² V^-1s^-1,開關(guān)比為1.59×10⁶,透射率為72.5%。其后,開展了室溫工藝脈沖激光沉積(PLD)制備AZO...

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1（a）三星55英寸透明顯示屏；（b）京東方0.03mm厚柔性顯示屏；（c）LG公司77英寸透明柔性顯示屏

明柔性顯示技術(shù)廣泛的應(yīng)用于可穿戴手機、汽車擋風(fēng)玻璃和內(nèi)置皮膚傳感器等領(lǐng)域。2003年，Wager,J.F.和Hoffman,R.L.[13,28]首次發(fā)表了關(guān)于透明ZnO-TFT的相關(guān)論文，并提出透明電子學(xué)的概念；2004年，Nomura,K.[14]使用脈....

圖1-2MOSFET的結(jié)構(gòu)

第一章緒論破性進展，標(biāo)志著透明柔性顯示技術(shù)日趨成熟。究者對于透明柔性顯示的探索都聚焦于TFT器件顯示器的重要組成部件之一，它在顯示器中主要構(gòu)類似于圖1-2中所示的金屬-氧化物半導(dǎo)體場orField-EffectTransistor，MOSFET），主要包括極。如圖....

圖4-11（a）磁控濺射[85]

0T1的（a）PBS和（b）NBS結(jié)果；PLD-AZO-TFT的（c）PBS和（d）NBS結(jié)果；（VG=+10V）和NBS（VG=-10V）下TFT的Von漂移移；（f）未圖型化的TFT在300nmnm波長范圍內(nèi)的透射光譜圖4-10(a)....

圖4-14有著AZO柵極電極TFT的結(jié)構(gòu)示意

圖4-14有著AZO柵極電極TFT的結(jié)構(gòu)示意Figure4-14SchematicmapoftheTFTwithAZOgateelectrod對TFT的影響PLD-AZO薄膜電學(xué)性能優(yōu)于PVD法制備的F1薄PLD-AZO，優(yōu)異的電學(xué)....

本文編號：3982755