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基于實(shí)驗(yàn)室管理的微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及特性分析

發(fā)布時(shí)間:2018-09-08 18:11
【摘要】:為了實(shí)現(xiàn)表面等離子器件的光電集成應(yīng)用,采用典型的金屬-介質(zhì)-金屬中刻蝕2條緊鄰的縫隙結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)了一種新型的定向耦合器。分析本征模式的波導(dǎo)方程、反轉(zhuǎn)粒子數(shù)與時(shí)間關(guān)系,得到了定向耦合器的耦合條件。耦合器特性分別表明:設(shè)計(jì)的縫隙結(jié)構(gòu)表面等離子能夠通過(guò)縫隙1向縫隙2滲透,可以實(shí)現(xiàn)表面等離子在縫隙間的周期性傳播,表面等離子傳播在2μm左右;耦合距離與縫隙大小表現(xiàn)為線性的關(guān)系,當(dāng)縫隙大小小于100nm時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)更高的耦合效率、更短的耦合距離;設(shè)計(jì)的定向耦合器可以通過(guò)減小縫隙大小提高表面等離子傳播的耦合效果。
[Abstract]:In order to realize the photoelectric integrated application of surface plasma devices, a new type of directional coupler is designed using two adjacent slot structures etched in a typical metal-dielectric metal. The waveguide equation of intrinsic mode and the relation between the number of inversion particles and time are analyzed and the coupling conditions of directional coupler are obtained. The characteristics of the coupler show that the surface plasma of the designed slot structure can penetrate through the gap 1 to the gap 2, which can realize the periodic propagation of the surface plasma between the gaps, and the surface plasma propagates at about 2 渭 m. The relationship between the coupling distance and the gap size is linear. When the gap size is smaller than 100nm, it can achieve higher coupling efficiency and shorter coupling distance. The designed directional coupler can improve the coupling effect of surface plasma propagation by reducing the gap size.
【作者單位】: 海南熱帶海洋學(xué)院;
【基金】:2014年海南省高等學(xué)校科學(xué)研究項(xiàng)目(HNKY2014—2015) 2016年海南省社會(huì)科學(xué)項(xiàng)目(HNSK(YB)) 2016年海南省社會(huì)科學(xué)研究項(xiàng)目(HNSK(YB)) 2016年海南省社會(huì)科學(xué)研究(HNSK(YB))
【分類(lèi)號(hào)】:TN622

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào):2231294

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