【摘要】：采用溶膠-凝膠工藝制備出高可見光透過率、低電阻率的Sn-Al共摻雜Zn O透明導電薄膜(ZASO薄膜),分析了退火真空度對薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、光電性能的影響。結(jié)果表明:真空退火不改變Zn O晶體的本質(zhì),但退火真空度對薄膜光電特性有顯著影響。退火真空度越高方塊電阻越小,在較高真空環(huán)境中退火得到的ZASO薄膜方塊電阻可低至0.7 kΩ·□-1。高真空退火時,薄膜的透光率較高,可見光平均透過率可達93%左右。
[Abstract]:Sn-Al co-doped Zn O transparent conductive thin films (ZASO thin films) with high visible light transmittance and low resistivity were prepared by sol-gel process. The effect of annealing vacuum on the crystal structure and optoelectronic properties of the films was analyzed. The results show that vacuum annealing does not change the nature of Zn O crystal, but the annealing vacuum has a significant effect on the photoelectric properties of the films. The higher the annealed vacuum is, the smaller the square resistance is, and the lower the square resistance of ZASO film is to 0.7 k 惟 -1 when annealed in a higher vacuum environment. When annealed in high vacuum, the transmittance of the film is higher, and the average transmittance of visible light is about 93%.
【作者單位】： 商洛學院電子信息與電氣工程學院;
【基金】：商洛學院科研基金項目(14SKY009)
【分類號】：TN304.2

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 程健,彭輝俊,李春林;真空度動態(tài)平衡控制手段和方法的研究[J];機械與電子;2005年06期

2 程健,鄔欽崇;一種保持真空室真空度穩(wěn)定的控制系統(tǒng)[J];真空;1999年05期

3 趙智忠;;用Visual Basic實現(xiàn)電網(wǎng)中開關(guān)管真空度的智能化監(jiān)測[J];電工技術(shù);2001年02期

4 張麗華,李軍,邵崇儉;MEMS封裝中真空封口及真空度檢測技術(shù)[J];微納電子技術(shù);2003年Z1期

5 王成勇;;真空度隨真空管道長度變化規(guī)律研究[J];印制電路信息;2014年05期

6 吳瓊;;曝光機雙玻璃曬架及其真空系統(tǒng)的設(shè)計[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2006年01期

7 劉芳;王珂;;用溫度控制儀測量真空度的檢定方法探討[J];熱處理;2013年06期

8 王洋;巫慶輝;龐艷偉;;ADC0832在真空度數(shù)據(jù)檢測中的應用[J];電子設(shè)計工程;2013年18期

9 黃金彪;童勤義;唐國洪;陳德英;;脈寬調(diào)制輸出的集成真空度傳感器[J];東南大學學報;1992年03期

10 曲建俊;周寧寧;田秀;金龍;徐志科;;真空度對環(huán)形行波超聲馬達驅(qū)動特性的影響[J];壓電與聲光;2008年06期

相關(guān)會議論文 前5條

1 陳濤;;提高本鋼RH真空度的研究[A];2005'全國真空冶金與表面工程學術(shù)會議論文集[C];2005年

2 趙慶龍;;RH系統(tǒng)冷凝水對真空度的影響[A];2007年全國RH精煉技術(shù)研討會文集[C];2007年

3 陳哲;;生產(chǎn)線真空系統(tǒng)技術(shù)改造[A];“綠色制造 質(zhì)量管理”——海南省機械工程學會、海南省機械工業(yè)質(zhì)量管理協(xié)會2011年會論文集[C];2011年

4 王義芳;吳德忠;張小奇;馬力幀;何源;王兵;趙建民;吳翼健;王志學;唐靖宇;趙紅衛(wèi);;SFC的改進[A];2004學術(shù)年會論文集[C];2004年

5 張斌;;環(huán)氧澆注混合膠脫泡及澆注真空度的選擇[A];第七次全國環(huán)氧樹脂應用技術(shù)學術(shù)交流會論文集[C];1997年

相關(guān)重要報紙文章 前6條

1 張仕剛 成明揚;速溶豆?jié){晶的加工[N];湖北科技報;2003年

2 記者 黃敏清　通訊員 羅瑛;廣州石化攻克技術(shù)難題節(jié)能創(chuàng)效[N];中國石化報;2010年

3 ;爐外精煉知識講座[N];中國冶金報;2003年

4 劉尹;速溶豆?jié){晶[N];河南科技報;2006年

5 張紅普;密封性測試在軟包裝行業(yè)的應用[N];中國包裝報;2004年

6 萬成志;袋裝苜蓿菜的加工技術(shù)[N];山西科技報;2001年

相關(guān)博士學位論文 前1條

1 劉銳;和面方式對面團理化結(jié)構(gòu)和面條質(zhì)量的影響[D];中國農(nóng)業(yè)科學院;2015年

相關(guān)碩士學位論文 前3條

1 趙智忠;用Visual Basic實現(xiàn)電網(wǎng)中開關(guān)管真空度的智能化監(jiān)測[D];遼寧工程技術(shù)大學;2002年

2 崔俊星;基于80C552智能真空度測試儀的設(shè)計與實現(xiàn)[D];太原理工大學;2004年

3 呂靜雯;制冷系統(tǒng)余熱應用于蒸餾水機的技術(shù)[D];天津商業(yè)大學;2014年

，

本文編號：2226987