發(fā)布時間：2018-06-25 22:06

  本文選題：磁控濺射 + Ti-N薄膜��； 參考：《表面技術》2017年06期

【摘要】：目的研究Ti-N薄膜顏色和硬度及其結合強度的影響因素。方法利用封閉磁場非平衡磁控濺射離子鍍膜技術,該變?yōu)R射偏壓、氮氣流量等參數(shù),分別在304不銹鋼基體和載玻片基體上沉積多彩Ti-N薄膜。用努氏硬度、劃痕法和球坑法分別評價Ti-N薄膜的顯微硬度和結合強度等性能。結果當偏壓和濺射電流分別為-60 V和2 A時,將反應氣體氮氣流量從3sccm逐漸增加到20sccm,Ti-N薄膜顏色依次發(fā)生從"淡黃-金黃-紅黃-紫紅-金黃"的循環(huán)變化趨勢。薄膜的硬度隨氮氣流量的增加在601~700HK之間呈逐步上升的趨勢。膜基結合普遍較好。當?shù)獨饬髁亢蜑R射電流分別為10sccm和2 A時,將負偏壓從-50 V逐漸增加到-120 V,薄膜顏色從淡黃色變成金黃色,膜基結合強度較好。硬度隨偏壓的增加變化不明顯。結論影響Ti-N薄膜顏色的主要因素為氮氣流量,偏壓也可以輕微地改變薄膜顏色,但對薄膜性能影響并不明顯。
[Abstract]:Objective to study the influence factors on the color, hardness and bonding strength of Ti-N thin films. Methods using the closed magnetic field unbalanced magnetron sputtering ion plating technique, the colorful Ti-N thin films were deposited on 304 stainless steel substrates and on glass substrates with the parameters of variable sputtering bias voltage and nitrogen flow rate, respectively. The microhardness and bonding strength of Ti-N films were evaluated by Knoop hardness scratch method and ball pit method respectively. Results when the bias voltage and sputtering current were -60 V and 2 A, the flow rate of reactive gas nitrogen gradually increased from 3sccm to 20SC cm ~ (-1) Ti-N film color, which occurred in turn from "light yellow, golden yellow, red yellow, purple red to golden yellow". The hardness of the film increases gradually with the increase of nitrogen flow rate in the range of 601 ~ 700HK. The membrane binding is generally good. When the nitrogen flow rate and sputtering current are 10sccm and 2 A, the negative bias voltage is gradually increased from -50 V to -120 V, and the film color changes from light yellow to golden color, and the bonding strength of the film is better. The hardness does not change obviously with the increase of bias voltage. Conclusion the main factor affecting the color of Ti-N thin film is nitrogen flow rate and bias voltage can change the color of the film slightly, but the effect on the film properties is not obvious.
【作者單位】： 寧波工程學院材料與化學工程學院;
【基金】：浙江省大學生科技創(chuàng)新活動計劃(新苗人才計劃)項目(2014R422012)~~
【分類號】：TB383.2

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本文編號：2067693