發(fā)布時間：2018-12-14 09:06

【摘要】：采用溶膠-凝膠法以旋涂的方式在石英玻璃上制備錫摻氧化鋅(ZnO∶Sn)透明導(dǎo)電薄膜,在不同的退火氣氛下對薄膜進行熱處理,以此研究退火氣氛對薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響。通過X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、紫外-可見分光光度計和四探針測試儀等手段對薄膜樣品進行分析表征,實驗表明:不同氣氛條件下熱處理的ZnO∶Sn薄膜仍為六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)并沿c軸擇優(yōu)生長,且在可見光范圍(400~900 nm)樣品的平均透過率均超過80%。其中,在氮氣氣氛下退火處理的薄膜電阻率減小至3.152×10~(-2)Ω·cm,在惰性氣體中熱處理有效提高了薄膜的光電特性。
[Abstract]:Tin doped zinc oxide (ZnO:Sn) transparent conductive thin films were prepared on quartz glass by sol-gel method. The films were annealed in different annealing atmosphere. The effect of annealing atmosphere on the microstructure and optoelectronic properties of the films was studied. The films were characterized by X-ray diffractometer, scanning electron microscope, UV-Vis spectrophotometer and four-probe tester. The experimental results show that the ZnO:Sn films annealed in different atmosphere are still hexagonal wurtzite structure and preferential growth along the c-axis, and the average transmittance of the samples in the visible light range (400 ~ 900 nm) is over 80%. The resistivity of the films annealed in nitrogen atmosphere is reduced to 3.152 脳 10 ~ (-2) 惟 cm, and the optical and electrical properties of the films are improved effectively by heat treatment in inert gas.
【作者單位】： 景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)機械電子工程學(xué)院;
【基金】：國家自然基金項目(61464005,51562015) 江西省青年重點基金項目(20153BCB23004) 江西省科技支撐計劃資助項目(2010BGA01100) 江西省對外合作資助項目(20132BDH80025,20151BDH80031) 江西省自然基金資助項目(20143ACB21004,20151BAB202010,20151BAB212008) 江西省主要學(xué)科學(xué)術(shù)和技術(shù)帶頭人培養(yǎng)計劃項目(20123BCB22002) 江西省高等學(xué)�？萍悸涞赜媱�(KJLD12085,KJLD14075) 江西省教育廳科技資助項目(GJJ12494,GJJ13643,GJJ13625) 景德鎮(zhèn)市科技項目(2013-1-4,2014-2-22,2014-1-3)
【分類號】：TB383.2

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 王q;李晨;徐博;;溶膠-凝膠法的基本原理、發(fā)展及應(yīng)用現(xiàn)狀[J];化學(xué)工業(yè)與工程;2009年03期

2 陳少波;孫挺;王明華;;溶膠-凝膠法制備羥基磷灰石粉體[J];陶瓷;2010年06期

3 劉志;宋巖;鄧麗萍;;溶膠-凝膠法制備金屬-炭凝膠材料的研究進展[J];炭素技術(shù);2010年06期

4 馬芳;馬洪芳;王藝涵;丁嚴(yán)廣;;溶膠-凝膠法制備太陽能薄膜的研究及展望[J];材料導(dǎo)報;2011年23期

5 黃傳真,艾興,侯志剛,陳元春;溶膠-凝膠法的研究和應(yīng)用現(xiàn)狀[J];材料導(dǎo)報;1997年03期

6 喬俊娟,袁堅;溶膠-凝膠法制備有機-無機復(fù)合材料[J];佛山陶瓷;2001年04期

7 馬海紅;史鐵鈞;宋秋生;;溶膠-凝膠法有機-無機雜化材料的制備及應(yīng)用研究進展[J];化工新型材料;2008年12期

8 徐黎嶺;崔碩;吳立昂;喬旭升;樊先平;;溶膠-凝膠法制備氧化鋯粉體[J];稀有金屬材料與工程;2010年S2期

9 林怡輝,張正國,王世平;溶膠-凝膠法制備新型蓄能復(fù)合材料[J];太陽能學(xué)報;2001年03期

10 侯來廣;劉艷春;胡德;任雪潭;曾令可;;溶膠-凝膠法合成鉻酸銅[J];佛山陶瓷;2013年08期

相關(guān)會議論文 前10條

1 熊國興;姚楠;韓偉;;超聲溶膠-凝膠法制備強酸性中孔材料[A];全國第三屆溶膠—凝膠科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2004年

2 鄭成成;崔斌;游橋明;暢柱國;;聚乙二醇辛基苯基醚輔助溶膠-凝膠法制備鈦酸鋇粉體及其陶瓷(英文)[A];第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集（第5分冊）[C];2010年

3 曹悅;許振良;韓靈鳳;;溶膠-凝膠法制備TiO_2-DegOH溶膠的實驗研究[A];上海市化學(xué)化工學(xué)會2010年度學(xué)術(shù)年會論文集[C];2010年

4 王世敏;徐珊珊;董兵海;許祖勛;;溶膠-凝膠法制備丙烯酸酯／納米SiO_2有機-無機雜化材料的研究[A];2005年全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會論文摘要集[C];2005年

5 孫晶;曾繁明;曹瑩;關(guān)效賢;李建立;劉景和;;溶膠-凝膠法合成摻釹釓鎵石榴石(Nd:GGG)多晶原料[A];全國第三屆溶膠—凝膠科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2004年

6 李瑞潔;高玲香;;溶膠-凝膠法合成四方相納米球形鈦酸鋇[A];中國化學(xué)會第28屆學(xué)術(shù)年會第8分會場摘要集[C];2012年

7 陳宇暉;姜建華;黃月霞;朱源泰;韋莉;;溶膠-凝膠法制備摻鋁氧化鋅透明導(dǎo)電膜及其性能研究[A];上海市化學(xué)化工學(xué)會2010年度學(xué)術(shù)年會論文集[C];2010年

8 張麗鵬;于先進;董云會;李德剛;李忠芳;;制備Ca_3Co_4O_9材料的溶膠-凝膠法工藝研究[A];2008年全國冶金物理化學(xué)學(xué)術(shù)會議專輯（上冊）[C];2008年

9 宋秀芹;馬建峰;陳汝芬;;Li_2MnO_3的非醇鹽溶膠-凝膠法合成及電性質(zhì)研究[A];第三屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];1998年

10 曾覺發(fā);趙芯;陳寧;張清華;江波;;溶膠-凝膠法制備SiO_2增透膜[A];2006年全國功能材料學(xué)術(shù)年會專輯[C];2006年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前7條

1 溫泉;溶膠—凝膠法制備V_2O_5粉體及其性能研究[D];陜西科技大學(xué);2012年

2 張麗麗;溶膠—凝膠法制備ITO和AZO薄膜材料及其性能研究[D];內(nèi)蒙古師范大學(xué);2013年

3 張國宏;溶膠－凝膠法制備的La_（2/3）Ca_（1/3）MnO_3中Mn位Cu和Zn摻雜的比較研究[D];華中科技大學(xué);2004年

4 石侃州;鋁鎵氮材料的制備及其光電性能的研究[D];西北大學(xué);2013年

5 趙波;PWA/Al_2O_3/PVA有機-無機復(fù)合質(zhì)子交換膜的制備與表征[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

6 趙金鑫;溶膠—凝膠法合成納米級發(fā)光材料及其性能研究[D];河北大學(xué);2009年

7 夏天;溶膠-凝膠法TiO_2納米晶與薄膜的制備及表征[D];大連海事大學(xué);2005年

，

本文編號：2378349