發(fā)布時間：2018-12-14 09:06

【摘要】：采用溶膠-凝膠法以旋涂的方式在石英玻璃上制備錫摻氧化鋅(ZnO∶Sn)透明導電薄膜,在不同的退火氣氛下對薄膜進行熱處理,以此研究退火氣氛對薄膜的微觀結構和光電性能的影響。通過X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、紫外-可見分光光度計和四探針測試儀等手段對薄膜樣品進行分析表征,實驗表明:不同氣氛條件下熱處理的ZnO∶Sn薄膜仍為六方纖鋅礦結構并沿c軸擇優(yōu)生長,且在可見光范圍(400~900 nm)樣品的平均透過率均超過80%。其中,在氮氣氣氛下退火處理的薄膜電阻率減小至3.152×10~(-2)Ω·cm,在惰性氣體中熱處理有效提高了薄膜的光電特性。
[Abstract]:Tin doped zinc oxide (ZnO:Sn) transparent conductive thin films were prepared on quartz glass by sol-gel method. The films were annealed in different annealing atmosphere. The effect of annealing atmosphere on the microstructure and optoelectronic properties of the films was studied. The films were characterized by X-ray diffractometer, scanning electron microscope, UV-Vis spectrophotometer and four-probe tester. The experimental results show that the ZnO:Sn films annealed in different atmosphere are still hexagonal wurtzite structure and preferential growth along the c-axis, and the average transmittance of the samples in the visible light range (400 ~ 900 nm) is over 80%. The resistivity of the films annealed in nitrogen atmosphere is reduced to 3.152 脳 10 ~ (-2) 惟 cm, and the optical and electrical properties of the films are improved effectively by heat treatment in inert gas.
【作者單位】： 景德鎮(zhèn)陶瓷大學機械電子工程學院;
【基金】：國家自然基金項目(61464005,51562015) 江西省青年重點基金項目(20153BCB23004) 江西省科技支撐計劃資助項目(2010BGA01100) 江西省對外合作資助項目(20132BDH80025,20151BDH80031) 江西省自然基金資助項目(20143ACB21004,20151BAB202010,20151BAB212008) 江西省主要學科學術和技術帶頭人培養(yǎng)計劃項目(20123BCB22002) 江西省高等學校科技落地計劃(KJLD12085,KJLD14075) 江西省教育廳科技資助項目(GJJ12494,GJJ13643,GJJ13625) 景德鎮(zhèn)市科技項目(2013-1-4,2014-2-22,2014-1-3)
【分類號】：TB383.2

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本文編號：2378349