球面檢驗(yàn)鏡口徑不斷增大導(dǎo)致其檢驗(yàn)精度下降,針對(duì)該問題,本文優(yōu)化設(shè)計(jì)了2.7米標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的重錘支撐參數(shù),并對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的調(diào)整架以及支撐系統(tǒng)進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。首先,利用有限元和遺傳算法,對(duì)鏡體進(jìn)行了54點(diǎn)等力支撐環(huán)帶優(yōu)化,針對(duì)增加嵌套孔后鏡體剛度變差的情況,對(duì)各環(huán)帶底支撐力和側(cè)支撐力分別進(jìn)行了優(yōu)化;然后,利用統(tǒng)計(jì)方法分析了支撐半徑和支撐力誤差對(duì)支撐變形的影響;最后,基于優(yōu)化分析結(jié)果對(duì)標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)鏡的調(diào)整架和支撐系統(tǒng)進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。分析結(jié)果表明,經(jīng)過對(duì)標(biāo)準(zhǔn)球面鏡54點(diǎn)支撐位置、各環(huán)帶底支撐力和側(cè)支撐力進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)后,在球面鏡支撐變形RMS(Root Mean Square)小于1/115λ(λ=632.8 nm),底支撐位置擾動(dòng)為±2 mm,側(cè)支撐位置擾動(dòng)為±0.6 mm,以及支撐力擾動(dòng)為±3 N的情況下,支撐變形小于1/70λ,滿足標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的支撐要求。

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本文編號(hào)：4056349