氦氣示蹤檢測(cè)法在氣密性檢測(cè)系統(tǒng)中的應(yīng)用
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【部分圖文】:
圖1 吸槍式檢測(cè)裝置示意圖
噴槍式檢測(cè)方式:首先需要把容器內(nèi)部抽成真空狀態(tài),然后用噴槍往容器表面進(jìn)行噴灑氣體,采樣容器內(nèi)部的氦氣的流量,這種方式的靈敏度較高,成本低。這兩種方式都是逐步小面積的測(cè)試,可以測(cè)試到出問(wèn)題的具體位置,方便標(biāo)記。2)不需要標(biāo)記泄漏位置的檢測(cè)方式
圖2 真空式檢測(cè)裝置示意圖
真空式檢測(cè)方式:需要準(zhǔn)備真空室,把待測(cè)物體放進(jìn)去,然后往物體里面充入氦氣,真空室與氦質(zhì)譜檢漏儀相連,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空室里氦氣濃度的變化,這種方式靈敏度高,并且可以連接一個(gè)輔助泵,提高檢測(cè)效率,檢測(cè)裝置如圖2所示[8]。吸槍累積式檢測(cè):首先對(duì)待測(cè)物體進(jìn)行充氦,然后把待測(cè)物體放在一個(gè)與吸....
圖3 吸槍累積式檢測(cè)裝置示決圖
吸槍累積式檢測(cè):首先對(duì)待測(cè)物體進(jìn)行充氦,然后把待測(cè)物體放在一個(gè)與吸槍探頭相連的累積腔內(nèi),通過(guò)監(jiān)視累積腔內(nèi)氣體濃度數(shù)值的變化進(jìn)行檢測(cè)被測(cè)物體氣密性的好壞[9],這種方式可以實(shí)現(xiàn)總體泄露率的檢測(cè),可靠性高,成本相對(duì)較低,檢測(cè)裝置如圖3所示。背壓式檢測(cè)方式:首先將待測(cè)物體放在一個(gè)充氦氣....
圖4 物體內(nèi)部壓力與抽氣時(shí)間關(guān)系曲線
1)容器內(nèi)部抽成真空狀態(tài)所需要的時(shí)間。這個(gè)時(shí)間指的是達(dá)到檢漏儀測(cè)試壓力所需要的最基本的時(shí)間,如圖4所示。計(jì)算公式:t=2.3VSairlgΡ1Ρ2?????????(1)
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