諧振微鏡掃描角度同步測量機(jī)理研究
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【部分圖文】:
圖1FPCB掃描微鏡結(jié)構(gòu)圖
本文主要研究諧波震蕩FPCB微鏡,選擇采用單個(gè)光電二極管探測器(PD,PhotodiodeDetector)對信號進(jìn)行檢測和數(shù)字化處理作為集成微鏡旋轉(zhuǎn)角度的感應(yīng)檢測機(jī)理。這種方法具有成本低、信號易處理的優(yōu)點(diǎn)。除了首次開發(fā)用于FPCB微鏡的集成角度傳感測量機(jī)理外,本文的另一項(xiàng)創(chuàng)新....
圖2諧振微鏡同步角度測量裝置設(shè)計(jì)
測量系統(tǒng)設(shè)置如圖2所示,用于測量的激光源放置在微鏡背面一側(cè),激光經(jīng)過背面鏡片反射后,被投射到光電二極管探測器PD所在的像平面上。測量機(jī)制原理如圖3所示,當(dāng)FPCB微鏡處于平衡位置,激光束從D點(diǎn)射向背面微鏡的中心O點(diǎn),并被反射到光電二極管所在的相平面中的A點(diǎn)。此時(shí),D、O、A點(diǎn)組成....
圖3諧振微鏡旋轉(zhuǎn)角度測量原理圖
圖2諧振微鏡同步角度測量裝置設(shè)計(jì)θp=12arctan(ba)(1)
圖4驅(qū)動信號、PD信號與微鏡角度之間的相位滯后關(guān)系原理圖
θp=θ0sin(ωt1-Δφ)(3)圖4展示了驅(qū)動信號與FPCB微鏡旋轉(zhuǎn)角度函數(shù)之間相位滯后的關(guān)系原理。如圖所示,圖4(a)為驅(qū)動信號,圖4(b)為光電二極管測量信號,由于反射光線一個(gè)周期內(nèi)兩次通過光電二極管時(shí)微鏡的偏轉(zhuǎn)角度都是θp,并且這兩個(gè)時(shí)刻相對微鏡偏轉(zhuǎn)角度在....
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