發(fā)布時間：2020-12-03 05:09

　　氣浮支承由于具有均化誤差、無污染及壽命長等優(yōu)點越來越廣泛應(yīng)用于支承ITO導(dǎo)電玻璃等精密零部件。隨著導(dǎo)電玻璃尺寸大型化及厚度輕薄化,導(dǎo)電玻璃的在線運輸及光學(xué)檢測對氣浮支承提出了越來越高的要求。本文基于氣體潤滑及板殼變形理論,針對ITO導(dǎo)電玻璃氣浮傳輸系統(tǒng)參數(shù)優(yōu)化問題,完成了以下研究工作:(1)基于氣體潤滑理論建立了氣浮系統(tǒng)中氣膜面上的壓力分布方程;基于有限差分建立了連續(xù)氣浮力作用下導(dǎo)電玻璃小撓度彎曲的數(shù)學(xué)模型;(2)對不同供氣模式及不同負(fù)壓進(jìn)氣孔排布方式下的氣膜流場特性進(jìn)行了分析;以有限差分法計算了3種進(jìn)氣孔間距下導(dǎo)電玻璃撓度值并與Ansys結(jié)果進(jìn)行比較,并結(jié)合不同進(jìn)氣孔間距下的氣浮性能,設(shè)定了進(jìn)氣孔間距的合理范圍。(3)在單元優(yōu)化的基礎(chǔ)之上對氣浮系統(tǒng)整體進(jìn)行三維建模,利用Fluent及Ansys workbench單向流固耦合模塊,詳細(xì)分析了氣浮間隙、節(jié)流管道長度及氣腔半徑改變對氣浮性能、消耗的氣體質(zhì)量流量及導(dǎo)電玻璃小撓度彎曲變形的影響,綜合多方面考慮給出了氣浮間隙、節(jié)流管道長度及氣腔半徑參數(shù)的合理取值范圍。(4)結(jié)合理論分析及仿真優(yōu)化結(jié)果,在導(dǎo)電玻璃模態(tài)分析的基礎(chǔ)上給出了導(dǎo)電玻璃穩(wěn)態(tài)... 

【文章來源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：80 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

氣浮支承種類

圖 1.1 氣浮支承種類Fig 1.1 Types of air bearing體軸承理論越來越成熟，相較于傳統(tǒng)的滾輪傳輸，靜壓型氣浮、無污染、精度高及承載能力強等優(yōu)點已較為普遍地應(yīng)用于多的來源項目正是采用靜壓型氣浮支承方式支承導(dǎo)電玻璃用于光原理如圖 1.2 所示，壓縮氣體由供氣通道進(jìn)入氣浮板經(jīng)節(jié)流通玻璃與氣浮板之間的間隙形成氣膜，當(dāng)氣膜承載力能平衡掉導(dǎo)到支承效果。導(dǎo)電玻璃尺寸大型化及厚度輕薄化使得即使在高下也易發(fā)生變形甚至破損，從而導(dǎo)致次品產(chǎn)生及影響檢測的后測精度以及傳輸過程穩(wěn)定性，就需要對氣浮系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計果。

法和攝動法的計算結(jié)果，證明了數(shù)括 4 種傳輸方式，分別為磁力式傳。磁力式傳輸利用磁力之間相互吸引磁性，且易造成磁污染，甚至對人所要支承的工件重力，其缺點為承使用；超聲波傳輸主要是利用超聲本較高，平常維護(hù)起來也比較困難承起工件，其缺點也是承載力較低承載力有所提高，可以用來承載較玻璃基板傳輸?shù)闹饕�方式之一。針制造了基于氣浮支承的大型玻璃�?公司及美國 New WayAir Bearings璃基板氣浮傳輸儀器如圖 1.3 所示[3


本文編號：2896042