鏡組內(nèi)各透鏡間的軸向間隙是光學系統(tǒng)裝配中的一個重要參數(shù)。為精確測量鏡組內(nèi)各透鏡間的軸向間隙,提出了一種激光共焦鏡組間隙測量方法。該方法利用共焦光強響應曲線的峰值點對應系統(tǒng)物鏡聚焦焦點這一特性,使用環(huán)形激光共焦層析定焦技術對裝配后鏡組內(nèi)各透鏡表面的頂點位置進行高精度定位,并結合光學追跡方法精確計算各個透鏡表面頂點之間的距離,繼而得到鏡組的軸向間隙。初步的實驗表明該方法的重復性可達到0.3μm。
【文章目錄】：
1引言
2共焦透鏡間隙測量原理
    2.1 鏡組內(nèi)球面精確定焦
    2.2 環(huán)形光闌參數(shù)選擇
    2.3 透鏡軸向間隙的計算
3實驗驗證
4結論

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