本文選題：錸 + 化學(xué)氣相沉積��； 參考：《稀有金屬材料與工程》2017年05期

【摘要】：利用五氯化錸熱分解反應(yīng),采用冷壁式現(xiàn)場氯化化學(xué)氣相法在鉬基體沉積錸涂層,分析不同沉積溫度對錸涂層的物相組成、沉積規(guī)律、表面形貌、密度和硬度的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:沉積所得均為純錸涂層,晶粒生長方向均以(002)晶面為主;隨著沉積溫度的上升,錸涂層的沉積速率和沉積效率大幅提升,表面形貌由復(fù)雜多面體態(tài)變?yōu)榱忮F狀;涂層組織致密,相對密度最高可達(dá)99.9%,維氏硬度隨沉積溫度升高而升高,最高達(dá)6100 MPa。
[Abstract]:Rhenium coating was deposited on molybdenum substrate by cold wall chlorination chemical vapor method using thermal decomposition reaction of rhenium pentachloride. The effect of deposition temperature on phase composition, deposition law, surface morphology, density and hardness of rhenium coating was analyzed. The experimental results show that all the deposited rhenium coatings are pure rhenium coatings, and the grain growth direction is mainly in the direction of 002) crystal surface, and the deposition rate and deposition efficiency of rhenium coatings increase greatly with the increase of deposition temperature. The surface morphology of the coating changed from complex polyhedron to hexagonal, the microstructure of the coating was dense, the highest relative density was 99.9 and the Vickers hardness increased with the increase of deposition temperature, up to 6100 MPA.
【作者單位】： 昆明貴金屬研究所稀貴金屬綜合利用新技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)青年基金(51201076) 國家自然科學(xué)基金(51361014) 云南省應(yīng)用基礎(chǔ)研究(2012FB194) 云南省技術(shù)創(chuàng)新人才(2013HB112)
【分類號】：TG174.44

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前4條

1 陳二保;郭萬華;;沉積參數(shù)對CVD的TiN涂層性能影響[J];華東冶金學(xué)院學(xué)報(bào);1987年04期

2 朝容春;用直流等離子CVD法制備鈦化合物涂層[J];工具技術(shù);1985年11期

3 李孟春;趙曉軍;趙乃石;王京國;;雙直流等離子體化學(xué)氣相沉積裝置與工藝研究[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;1993年06期

4 ;[J];;年期

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 張樹參;二硼化鉻涂層的制備及其結(jié)構(gòu)和性能的研究[D];中北大學(xué);2016年

，

本文編號：1916414