改良西門子法生產(chǎn)多晶硅中三氯氫硅精餾工藝的開發(fā)模擬研究
【學位單位】:北京化工大學
【學位級別】:碩士
【學位年份】:2015
【中圖分類】:TQ127.2
【部分圖文】:
況巧(g)?+?2//;(《)+沉(S)….誦?>?2SiH:CLAg)?(1-13)??冷巧化SiCU工藝流程見圖1-8,冷氨化技術(shù)的四氛化娃單程轉(zhuǎn)化率約在20%?25%,??生產(chǎn)S氛氮巧的單位能耗在0.8?2.2kW‘h/kg左右。與熱氨化技術(shù)相比,冷氨化具備四??氯化娃轉(zhuǎn)化率髙、工芝反應(yīng)溫巧低、操作較穩(wěn)定、能耗小等優(yōu)巧。缺點是反應(yīng)在高壓??下進行,巧粉進料難,且存在安全隱患,產(chǎn)品不易分離,設(shè)備損耗快,成本較高。??目前對冷氨化工藝的主要研巧方向是:優(yōu)化操作參數(shù),在降化反應(yīng)濕度的同時提??升轉(zhuǎn)化率;改造進料設(shè)備,増加使用周期;開發(fā)促成高反應(yīng)轉(zhuǎn)化率且自身穩(wěn)定性強的??催化劑等措施。?
I?叫??I??l-SiCU汽化器;2—?a化反應(yīng)器;3—冷凝分巧系統(tǒng)??圖1-7熱氯化SiCli工藝流程圍??Fig.?1-7?巧0W?chart?of?化ermal?hydrogenation?of?silicon?化trachloride?process??冷氨化技術(shù)工藝f32l為,使用氛化亞銅、鐵基或鎮(zhèn)基作為催化劑,H2與SiCl4摩爾??比為(2?8)?:?1,SiCk?(STC)、化、娃粉、催化劑一同在流化床反應(yīng)器中,進行??氣固相反應(yīng)生成SiHClv反應(yīng)方程式:??3?況?C74(g)+?2//2(別+況(J)—^^^^4?況//a,(g)?(1-12)??反應(yīng)溫度420?650‘C,反應(yīng)壓力為1.0?3.5?MPag,同時伴隨有二巧二氨珪副產(chǎn)物生??成,副反應(yīng)方程式:??況巧(g)?+?2//;(《)+沉(S)….誦?>?2SiH:CLAg)?(1-13)??冷巧化SiCU工藝流程見圖1-8,冷氨化技術(shù)的四氛化娃單程轉(zhuǎn)化率約在20%?25%,??生產(chǎn)S氛氮巧的單位能耗在0.8?2.2kW‘h/kg左右。與熱氨化技術(shù)相比,冷氨化具備四??氯化娃轉(zhuǎn)化率髙、工芝反應(yīng)溫巧低、操作較穩(wěn)定、能耗小等優(yōu)巧。缺點是反應(yīng)在高壓??下進行
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【參考文獻】
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本文編號:2864719
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