為了解決當前光學薄膜激光損傷閾值檢測方法準確性差、可視化和靈活性不理想等難題,提出基于軟件測試算法的光學薄膜激光損傷閾值檢測方法。首先計算損傷閾值最終不確定度,并將不確定度計算結(jié)果代入損傷閾值檢測中,然后利構(gòu)成測量光路,激光在透鏡上聚焦照射到待測樣品上,根據(jù)測試軟件程序?qū)す庹丈淝昂蟮膱D像進行預(yù)處理,判斷是否存在損傷,若存在損傷,結(jié)合高斯光束理念獲取有效光斑面積,最后損傷閾值,并進行了仿真實驗,結(jié)果表明,該方法檢測準確率和可視化程度高,且靈活性強。

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【部分圖文】：

圖1 光學薄膜激光損傷閾值檢測圖

基于上述損傷閾值相對合成不確定度分析，引入軟件測試算法，完成光學薄膜激光損傷閾值檢測。圖1是光學薄膜激光損傷閾值檢測圖。根據(jù)圖1可知，經(jīng)衰減之后的激光會在透鏡上進行聚焦并照射在二維平移臺面待測樣品上，測量光路根據(jù)半導體激光器和擴束鏡和CDD相機等部分構(gòu)成。CDD與電腦連接，根據(jù)測....

圖2 損傷閾值檢測顯示界面

軟件測試算法下?lián)p傷閾值檢測顯示界面如圖2所示:圖2中的顯示界面主要包含兩部分功能，一部分為閾值查詢模塊，另一部分為閾值計算模塊。

圖3 不同方法損傷閾值檢測準確性對比

為驗證基于軟件測試算法的光學薄膜激光損傷閾值檢測方法有效性，進行一次實驗。實驗過程中，利用文獻[5]方法和文獻[6]方法在以下方面進行對比實現(xiàn)。實驗使用的薄膜樣本一致，其中，鍍膜基片是40mm×50mm的K9光學玻璃，樣品表層粗糙程度小于1nm。利用酒精和乙醚混合溶液清理樣....

圖4 不同方法可視化程度對比

圖4為不同方法可視化程度對比。由圖4可看出，本文方法可視化程度要遠高于文獻方法。本文方法為了增強檢測過程可視化性能，依據(jù)損傷閾值檢測流程設(shè)計了可視化界面，為增強方法整體運行性能提供了可靠支撐。圖4不同方法可視化程度對比

本文編號：4021812