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光學(xué)薄膜激光損傷閾值的智能檢測(cè)研究

發(fā)布時(shí)間:2025-01-01 01:03
   為了解決當(dāng)前光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)方法準(zhǔn)確性差、可視化和靈活性不理想等難題,提出基于軟件測(cè)試算法的光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)方法。首先計(jì)算損傷閾值最終不確定度,并將不確定度計(jì)算結(jié)果代入損傷閾值檢測(cè)中,然后利構(gòu)成測(cè)量光路,激光在透鏡上聚焦照射到待測(cè)樣品上,根據(jù)測(cè)試軟件程序?qū)す庹丈淝昂蟮膱D像進(jìn)行預(yù)處理,判斷是否存在損傷,若存在損傷,結(jié)合高斯光束理念獲取有效光斑面積,最后損傷閾值,并進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明,該方法檢測(cè)準(zhǔn)確率和可視化程度高,且靈活性強(qiáng)。

【文章頁(yè)數(shù)】:5 頁(yè)

【部分圖文】:

圖1 光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)圖

圖1 光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)圖

基于上述損傷閾值相對(duì)合成不確定度分析,引入軟件測(cè)試算法,完成光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)。圖1是光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)圖。根據(jù)圖1可知,經(jīng)衰減之后的激光會(huì)在透鏡上進(jìn)行聚焦并照射在二維平移臺(tái)面待測(cè)樣品上,測(cè)量光路根據(jù)半導(dǎo)體激光器和擴(kuò)束鏡和CDD相機(jī)等部分構(gòu)成。CDD與電腦連接,根據(jù)測(cè)....


圖2 損傷閾值檢測(cè)顯示界面

圖2 損傷閾值檢測(cè)顯示界面

軟件測(cè)試算法下?lián)p傷閾值檢測(cè)顯示界面如圖2所示:圖2中的顯示界面主要包含兩部分功能,一部分為閾值查詢模塊,另一部分為閾值計(jì)算模塊。


圖3 不同方法損傷閾值檢測(cè)準(zhǔn)確性對(duì)比

圖3 不同方法損傷閾值檢測(cè)準(zhǔn)確性對(duì)比

為驗(yàn)證基于軟件測(cè)試算法的光學(xué)薄膜激光損傷閾值檢測(cè)方法有效性,進(jìn)行一次實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)過程中,利用文獻(xiàn)[5]方法和文獻(xiàn)[6]方法在以下方面進(jìn)行對(duì)比實(shí)現(xiàn)。實(shí)驗(yàn)使用的薄膜樣本一致,其中,鍍膜基片是40mm×50mm的K9光學(xué)玻璃,樣品表層粗糙程度小于1nm。利用酒精和乙醚混合溶液清理樣....


圖4 不同方法可視化程度對(duì)比

圖4 不同方法可視化程度對(duì)比

圖4為不同方法可視化程度對(duì)比。由圖4可看出,本文方法可視化程度要遠(yuǎn)高于文獻(xiàn)方法。本文方法為了增強(qiáng)檢測(cè)過程可視化性能,依據(jù)損傷閾值檢測(cè)流程設(shè)計(jì)了可視化界面,為增強(qiáng)方法整體運(yùn)行性能提供了可靠支撐。圖4不同方法可視化程度對(duì)比



本文編號(hào):4021812

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