發(fā)布時(shí)間：2020-12-12 20:37

　　毫秒和納秒激光以其高可靠、高效率、低成本和可加工硬脆難加工材料的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),成為加工氧化鋁和氮化鋁陶瓷的首選,在電子陶瓷基板表面孔的工業(yè)化加工中具有不可替代的作用。介紹了毫秒和納秒激光加工作為電子基板的陶瓷材料的去除機(jī)理,如材料燒蝕閾值、光熱作用和光化學(xué)作用等,討論了毫秒和納秒激光加工參數(shù)、加工環(huán)境等因素對(duì)陶瓷材料表面孔加工尺寸(如直徑、深度和錐度等)的影響規(guī)律,總結(jié)了目前陶瓷基板表面激光孔加工工業(yè)化應(yīng)用面臨的問題,并對(duì)其未來的發(fā)展方向進(jìn)行了展望。 

【文章來源】：中國(guó)激光. 2020年05期 北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：16 頁(yè)

【部分圖文】：

納秒激光功率與孔直徑的關(guān)系(厚0.8 mm的

無氧環(huán)境中納秒激光加工氮化鋁過程的材料去除機(jī)理如圖14(a)所示[48-49]。當(dāng)圖14(a)中的反應(yīng)1指代的反應(yīng)在材料去除中占主導(dǎo)地位時(shí),氮元素氣化去除,而鋁則以固體或液體的形式排出,這種固、液、氣三相同時(shí)存在的不穩(wěn)定過程會(huì)影響孔的成形,導(dǎo)致在接近氮化鋁燒蝕閾值條件下加工出的孔形不規(guī)則。當(dāng)圖14(a)中的反應(yīng)2～4指代的反應(yīng)控制燒蝕時(shí),氮化鋁直接蒸發(fā)并產(chǎn)生形狀規(guī)則的孔,孔壁由鋁單質(zhì)層覆蓋,如圖14(b)所示[48]。圖15 納秒激光加工0.38 mm厚氮化鋁表面孔出口各部位元素的含量

納秒激光加工0.38 mm厚氮化鋁表面孔出口各部位元素的含量

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