針對高密度超薄柔性集成電路基板精密檢測需求,提出一種基于顏色特征的氧化缺陷檢測算法。設(shè)計了一種基于局部直方圖自適應(yīng)閾值的銅箔表面快速分割方法,并給出一種基于單高斯模型（SGM）的二維顏色分割的氧化缺陷檢測方法,提取氧化缺陷基于RGB、HSV與分塊策略的8維顏色特征,輸入有向無環(huán)圖支持向量機（DAG-SVMS）分類器對氧化缺陷進行分級。實驗表明,所提方法精度達到微米級別,最小可檢測區(qū)域為15μm²。為高密度超薄柔性集成電路基板制造過程提供了精密的表面缺陷檢測系統(tǒng),解決了銅箔表面氧化缺陷的自動檢測難題。 

【文章來源】：計算機集成制造系統(tǒng). 2020年09期 第2379-2387頁 北大核心

【文章頁數(shù)】：9 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 硬件系統(tǒng)設(shè)計
2 算法設(shè)計
    2.1 銅箔表面快速分割方法
    2.2 氧化缺陷檢測算法
    2.3 顏色特征提取
    2.4 氧化程度檢測算法
        2.4.1 訓練樣本集
        2.4.2 建立DAG-SVMS分類器
3 實驗結(jié)果
    3.1 氧化缺陷檢測效果
    3.2 檢測效率與精度
        3.2.1 氧化程度檢測實驗
        3.2.2 算法效率與精度實驗
4 結(jié)束語


【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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本文編號：2907291