發(fā)布時間：2020-12-09 01:33

　　隨著微電子機械系統(tǒng)（Micro-Electron Mechanical System,MEMS）傳感器的飛速發(fā)展,其產品給我們的日常生活帶來了巨大的改變。其中加速度計傳感器應用尤為廣泛,但是對于軍工方面的加速度測量,常用加速度計的精度遠遠不夠,且自檢測功能無法滿足應用需求,缺乏對傳感器諧波失真性能的自檢測。本文通過調研與分析,設計了一款具有數(shù)字自檢測功能的高精度MEMS加速度計接口電路。首先對加速度計工作原理進行介紹,對非理想特性進行分析,并在SIMULINK工具箱中完成電路數(shù)學模型的建立,根據(jù)數(shù)學模型完成電路的晶體管級設計與仿真,最后基于0.35μm高壓CMOS工藝對電路進行了版圖繪制。在接口電路中,本文采用離散PID控制電路作為相位補償器,保證了加速度計系統(tǒng)的閉環(huán)穩(wěn)定性,同時提高了接口電路的環(huán)路增益,從而降低了輸出信號在帶寬內的奇次諧波分量,提高了電路信號檢測的精度,并且與高壓CMOS工藝相結合,通過提高靜電力反饋電壓,實現(xiàn)了更大的量程。本文采用由數(shù)字諧振器產生且經過sigma-delta調制的高精度的1bit正弦信號碼流進行自檢測,避免傳統(tǒng)自檢測中低失真DAC單元的設計,自檢測信... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

Mash2-0結構加速度計simulink模型

[11]，其樣品如圖1-2所示。電路采用自動調零技與術分時復用技術，實現(xiàn)較高靈敏度與較低的噪聲。其采用一種新型的開關電容（switched-capacitor，SC）讀出電路，實現(xiàn)了單端到差分的轉換，巧妙地消除了直流失調，降低了電路低頻處的1/f噪聲，提高了芯片的分辨率。該芯片采用0.35 mCMOS工藝實現(xiàn)，采用 2 .5V電源電壓供電，電流為240uA

圖 1-2 加速度計芯片樣品圖[11]在2013年發(fā)布了一款3軸數(shù)字加速度計ADXL313[12]，其原理框款芯片分辨率為13位，量程可以達到 4 g，等效加速度噪聲為15范圍內具有10位的分辨率，可以分辨小到0.1°的傾角變化，采用過采樣技術可以將傾角分辨率提高到0.025°，電源電壓測量模式下電流低至30uA。該芯片具有自檢測功能，通過配置檢測，在自檢測時通過在極板上施加電壓，靜電力反饋生成等效通過多次測量的平均值來進行比較，確定芯片功能正確。


本文編號：2906022