發(fā)布時(shí)間：2018-12-14 15:23

【摘要】：總控及通訊分系統(tǒng)(MCS)作為浸沒(méi)式光刻機(jī)中與浸沒(méi)液體控制相關(guān)的三個(gè)子系統(tǒng)的上位機(jī)系統(tǒng),是形成穩(wěn)態(tài)流場(chǎng),實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)式光刻的重要控制系統(tǒng)。三個(gè)被控子系統(tǒng)功能相互獨(dú)立,系統(tǒng)運(yùn)行工序復(fù)雜,系統(tǒng)之間耦合度低,控制差異大,加之浸沒(méi)式光刻機(jī)控制系統(tǒng)的集成化和模塊化程度要求越來(lái)越高。為了降低系統(tǒng)設(shè)計(jì)的復(fù)雜度和實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的控制時(shí)序設(shè)計(jì),采用系統(tǒng)建模方法簡(jiǎn)化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)具有現(xiàn)實(shí)意義。本文針對(duì)MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中的兩大問(wèn)題,提出采用有限狀態(tài)機(jī)實(shí)現(xiàn)控制系統(tǒng)狀態(tài)化,利用正交法對(duì)系統(tǒng)狀態(tài)進(jìn)行分析,并設(shè)計(jì)系統(tǒng)狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)控制時(shí)序設(shè)計(jì),利用Stateflow仿真驗(yàn)證狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制的合理性,最后搭建了MCS控制系統(tǒng)運(yùn)行平臺(tái),通過(guò)系統(tǒng)集成運(yùn)行和測(cè)試證明采用有限狀態(tài)機(jī)方法能簡(jiǎn)化MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的目的。具體工作如下：1、介紹課題研究背景,分析MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程中的兩大問(wèn)題,提出有限狀態(tài)機(jī)理論的解決方法,闡述MCS控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的整體方案,并描述系統(tǒng)功能和設(shè)計(jì)需求。2、設(shè)計(jì)MCS控制系統(tǒng)的硬件方案,對(duì)各硬件模塊進(jìn)行選型分析并搭建MCS控制系統(tǒng)的硬件平臺(tái)。3、設(shè)計(jì)了MCS控制系統(tǒng)的軟件架構(gòu),利用正交法對(duì)系統(tǒng)狀態(tài)進(jìn)行分析。通過(guò)控制流程分析了解系統(tǒng)的時(shí)序控制過(guò)程,利用UML用例圖和時(shí)序圖分析系統(tǒng)的交互。采用有限狀態(tài)機(jī)方法建立狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制,最后采用Stateflow軟件仿真分析所設(shè)計(jì)的狀態(tài)轉(zhuǎn)移機(jī)制的合理性。4、集成MCS控制系統(tǒng)的軟硬件平臺(tái),測(cè)試系統(tǒng)功能,驗(yàn)證系統(tǒng)時(shí)序控制的有效性,并對(duì)采用有限狀態(tài)機(jī)理論設(shè)計(jì)的時(shí)序控制模塊和信號(hào)分析模塊進(jìn)行性能測(cè)試。
[Abstract]:As the host computer system of three subsystems related to submerged liquid control, (MCS) is an important control system for the formation of steady flow field and the realization of immersion lithography. The functions of the three controlled subsystems are independent of each other, the operation procedure of the system is complex, the coupling degree between the systems is low, and the control difference is great. In addition, the integration and modularization of the control system of the submerged lithography machine are more and more demanding. In order to reduce the complexity of the system design and realize the control timing design of the system, it is of practical significance to simplify the design of the MCS control system by using the system modeling method. Aiming at the two major problems in the design of MCS control system, this paper proposes a finite state machine (FSM) to realize the state of the control system. The orthogonal method is used to analyze the state of the system, and the system state transition mechanism is designed to design the control sequence of the system. The rationality of the state transition mechanism is verified by Stateflow simulation. Finally, the running platform of the MCS control system is built. It is proved by system integration and test that the design of the MCS control system can be simplified by using the finite state machine method. The specific work is as follows: 1. Introduce the research background, analyze the two problems in the design of MCS control system, put forward the solution of finite state machine theory, expound the overall scheme of MCS control system design. Secondly, the hardware scheme of MCS control system is designed, the hardware platform of each hardware module is selected and analyzed, and the hardware platform of MCS control system is built. 3. The software architecture of MCS control system is designed. The state of the system is analyzed by orthogonal method. The sequence control process of the system is understood by analyzing the control flow, and the interaction of the system is analyzed by using the UML use case diagram and the sequence diagram. The finite state machine method is used to establish the state transition mechanism. Finally, the rationality of the designed state transition mechanism is analyzed by using Stateflow software. Finally, the software and hardware platform of the MCS control system is integrated and the function of the system is tested. The validity of the timing control is verified, and the performance of the timing control module and the signal analysis module designed by the finite state machine theory are tested.
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TN305.7;TP273

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