發(fā)布時間：2018-09-17 10:51

【摘要】：浸沒式光刻機浸沒系統(tǒng)包含水處理系統(tǒng)(Pure Water System,PWS)、注液系統(tǒng)(Horizontal Compensation Water System,HCWS)、注氣系統(tǒng)(Compensation Air System,CAS)、氣液回收單元(Horizontal Air Water Extraction,HAWE)、溫控模塊(Temperature Control Moduel,TCM)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)等各分系統(tǒng),分別涉及氣液純化、流體、溫控等多個領(lǐng)域,運行時序復(fù)雜,控制流程差異大,本文涉及的總控通訊模塊(Main Control Moduel,MCM)負責各系統(tǒng)的協(xié)調(diào)控制,實現(xiàn)參量監(jiān)測與設(shè)定,接口通訊,邏輯控制,數(shù)據(jù)存儲,人機交互等功能。本文旨在對浸沒式光刻機中浸沒系統(tǒng)控制模塊在領(lǐng)域?qū)＜液蛙浖�程序員之間建立一套領(lǐng)域特定語言(Domain Specific Language,DSL),以便浸沒系統(tǒng)中流體、氣液純化、溫控領(lǐng)域?qū)＜遗c總控軟件人員的溝通與流程設(shè)計。針對當前浸沒系統(tǒng)總控與各分系統(tǒng)間的邏輯控制及自動化要求,開展如下工作。1.介紹課題研究背景,分析浸沒分系統(tǒng)組成及基本原理,闡述MCM總控通訊系統(tǒng)整體方案,提出課題研究內(nèi)容。2.設(shè)計MCM總控通訊系統(tǒng)硬件平臺,搭建邏輯架構(gòu),對關(guān)鍵元器件選型分析,完成模型設(shè)計與實物組裝。3.基于DSL進行MCM控制系統(tǒng)軟件分析并進行設(shè)計,包括浸沒系統(tǒng)中各系統(tǒng)執(zhí)行過程,狀態(tài)切換,事件觸發(fā),系統(tǒng)數(shù)據(jù)等內(nèi)容。采用服務(wù)器/客戶端一體化方案,明確通訊機制的實現(xiàn)方式。4.基于DSL狀態(tài)控制語言設(shè)計,包括數(shù)據(jù)交互的XML和浸沒式光刻機浸沒系統(tǒng)控制流程專用DSL。建立適用的邏輯控制及系統(tǒng)數(shù)據(jù)DSL文本,通過相應(yīng)詞法及語法規(guī)則分析,生成抽象語法樹,并組裝語義模型,供目標操作及代碼生成。5.測試系統(tǒng)功能,實現(xiàn)浸沒系統(tǒng)協(xié)調(diào)控制各項功能,驗證數(shù)據(jù)交互XML與邏輯控制DSL的有效性。
[Abstract]:......
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TN405

【參考文獻】

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本文編號：2245618