本文選題：MCNO薄膜 + 電學(xué)特性�。� 參考：《紅外與毫米波學(xué)報(bào)》2017年02期

【摘要】：采用磁控濺射法分別制備了不同組分的Mn-Co-Ni-O(MCNO)薄膜材料.通過(guò)對(duì)材料結(jié)構(gòu)分析,發(fā)現(xiàn)在Mn離子數(shù)目不變的情況下,隨著Co離子的增加,晶粒尺寸逐漸增大,且晶格常數(shù)先增大后減小;在Co離子數(shù)目不變的情況下,隨著Mn離子的增加,薄膜的擇優(yōu)生長(zhǎng)晶面由(311)不晶面向(400)晶面轉(zhuǎn)變.對(duì)電學(xué)性能測(cè)試進(jìn)行分析,可知薄膜材料既有Mn離子的導(dǎo)電機(jī)制,也有Co離子的導(dǎo)電機(jī)制;Mn_(1.2)Co_(1.5)Ni_(0.3)O_4具有最低的電阻率(235Ω·cm),具有最高的室溫負(fù)溫度電阻系數(shù)，

本文編號(hào)：1845149