本文關(guān)鍵詞：摻雜鈮和鈷元素的PZT薄膜的殘余應力測定　出處：《壓電與聲光》2016年01期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 溶膠-凝膠法 PZT薄膜 殘余應力 X線衍射法 退火溫度

【摘要】：鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜具有優(yōu)異的壓電性能,是制作微機電系統(tǒng)(MEMS)振動式能量收集器的理想材料。在溶膠-凝膠法制備PZT薄膜的過程中產(chǎn)生的殘余應力會對能量收集器有負面影響。該文利用X線衍射法對在退火溫度分別為650℃、700℃、750℃、800℃下?lián)诫s鈮(Nb)和鈷(Co)元素的PZT薄膜樣品的殘余應力進行了測定。實驗結(jié)果表明,PZT薄膜樣品中的殘余應力表現(xiàn)為壓應力,從650℃升高到750℃的過程中,隨著退火溫度的升高薄膜中的殘余應力增大;直到750℃附近后,殘余應力基本保持穩(wěn)定。
[Abstract]:Lead zirconate titanate (PZT) thin film has excellent piezoelectric properties and is an ideal material for making MEMS vibration energy collector. The residual stress produced in the preparation of PZT films by sol-gel method will have a negative effect on the energy collector. The residual stresses of PZT thin films doped with Nb (Nb) and CO (Co) at annealing temperature of 650, 700, 750, 800, were determined by X ray diffraction. The experimental results show that the residual stress in PZT thin films is compressive stress. From 650 to 750 degrees, the residual stress increases with the increase of annealing temperature, and the residual stress remains stable until 750 degrees.
【作者單位】： 重慶大學新型微納器件與系統(tǒng)技術(shù)國防重點學科實驗室;重慶大學微系統(tǒng)研究中心;
【基金】：中央高�；�本科研業(yè)務(wù)費專項基金資助項目(106112014CDJZR160001)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0引言隨著電子技術(shù)、信息技術(shù)、微電子技術(shù)的發(fā)展,基于MEMS的微傳感器、微執(zhí)行器的應用領(lǐng)域越來越廣。近年來,物聯(lián)網(wǎng)和無線傳感網(wǎng)絡(luò)的興起,使微型能量收集器和微型儲能元件成為MEMS領(lǐng)域的研究熱點[1]。PZT作為一種壓電材料具有高居里溫度和高機電耦合系數(shù)等特點,PZT薄膜是制作

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;第15屆全國殘余應力學術(shù)交流會(第1輪通知)[J];機械工程材料;2009年06期

2 Y.Miyano;惠海云;;經(jīng)淬火處理的熱固化樹脂梁中的殘余應力的粘彈性分析[J];國外艦船技術(shù)(材料類);1984年06期

3 費星如,冉啟方;殘余應力的超聲測量方法[J];力學進展;1985年04期

4 徐錦棣;劉惠文;計伊周;;鑄造殘余應力有限元分析[J];西安理工大學學報;1987年01期

5 王伶俐;趙才福;;冷軋低碳鋼中的殘余應力測量[J];鄭州工學院學報;1989年03期

6 胡華南,陳澄洲,周澤華;剝層測量殘余應力的修正[J];華南理工大學學報(自然科學版);1992年04期

7 高永毅,劉德順;利用試驗模態(tài)分析進行殘余應力評估的研究[J];振動與沖擊;2005年05期

8 鄭文龍;施偉力;;殘余應力測定的基本知識——第六講 殘余應力與環(huán)境敏感開裂[J];理化檢驗(物理分冊);2007年11期

9 孫淵;張棟;午麗娟;王慶明;;材料殘余應力對硬度測試影響程度的分析[J];華東理工大學學報(自然科學版);2012年05期

10 Swe Den Tsai ,鐘守仁;金屬基復合材料中的殘余應力測量[J];宇航材料工藝;1990年02期

相關(guān)會議論文 前9條

1 覃明;陳瑞;馬素媛;賀笑春;李家寶;;殘余應力靜載弛豫的研究[A];2002年材料科學與工程新進展（下）——2002年中國材料研討會論文集[C];2002年

2 王惠民;張武;;殘余應力對復合材料橫向拉伸和壓縮性能的影響[A];第四次全國環(huán)氧樹脂應用技術(shù)學術(shù)交流會論文集[C];1991年

3 潘春旭;陳超;戴華;;基于顯微硬度的殘余應力測定及其在非均勻組織中的應用[A];湖北省第九屆熱處理年會論文集[C];2004年

4 凌中;;Al_2O_3/SiC_p復合材料中熱失配殘余應力的測量[A];中國復合材料學術(shù)研討會論文集[C];2005年

5 凌中;;Al_2O_3/SiC_p復合材料中熱失配殘余應力的測量[A];全國首屆青年復合材料學術(shù)交流會論文集[C];2007年

6 唐海軍;楊傳仁;陳宏偉;張繼華;馮術(shù)成;;后處理工藝對BST薄膜殘余應力的影響的分析[A];第六屆中國功能材料及其應用學術(shù)會議論文集（2）[C];2007年

7 唐武;房永思;鄧龍江;徐可為;;微波集成電路中Au／NiCr／Ta多層薄膜殘余應力的研究[A];2006年全國功能材料學術(shù)年會專輯[C];2006年

8 陳超;潘春旭;;殘余應力測量技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展[A];湖北省第九屆熱處理年會論文集[C];2004年

9 蔣釗;;薄膜的應力控制技術(shù)研究現(xiàn)狀[A];TFC'07全國薄膜技術(shù)學術(shù)研討會論文摘要集[C];2007年

相關(guān)碩士學位論文 前10條

1 孫新楊;纖維與樹脂固化殘余應力在線監(jiān)測方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

2 王彥龍;殘余應力的超聲波檢測研究[D];西安科技大學;2005年

3 謝薇;三維碳纖維增強鎂基復合材料殘余應力的研究[D];上海交通大學;2011年

4 王耀剛;殘余應力和缺陷對小沖桿試樣斷裂破壞影響的數(shù)值模擬[D];華東理工大學;2013年

5 王永照;高壓處理PDC的殘余應力及機械性能分析[D];武漢理工大學;2013年

6 馬碧濤;殘余應力對壓痕實驗中壓力—壓痕深度曲線的影響[D];哈爾濱工業(yè)大學;2007年

7 楊芝茵;殘余應力對壓電薄膜材料性能的影響[D];湘潭大學;2001年

8 魯曉瑩;Pyrex玻璃與鋁陽極鍵合界面結(jié)構(gòu)及殘余應力模擬分析[D];太原理工大學;2008年

9 韓媛媛;顆粒增強鋁基復合材料穩(wěn)定化處理過程的熱應力分析[D];哈爾濱理工大學;2004年

10 王盛凱;鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的織構(gòu)與殘余應力研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2008年

，

本文編號：1340961