發(fā)布時間：2020-11-15 10:38

　　 基于磁懸浮技術(shù)的精密定位平臺能夠完全消除傳統(tǒng)定位平臺由于組件接觸等原因而導(dǎo)致的摩擦、磨損、噪聲等缺點,且具有低功耗、響應(yīng)速度快、轉(zhuǎn)速高等一系列優(yōu)點,因此對現(xiàn)在制造業(yè)尤其是微電子制造業(yè)領(lǐng)域的技術(shù)進步起到了重要作用,同時也在高速、高精運動的定位平臺領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。相比于國外在磁懸浮定位平臺方面研究的深入開展與豐碩成果,我國在這方面也開展了相關(guān)研究并涌現(xiàn)一批可喜成果,然而隨著我國在微電子制造等高尖端應(yīng)用的飛速發(fā)展,對定位平臺等精度、響應(yīng)速度要求越來越高。在此背景下,本文開展利用MAXWELL仿真軟件,對TU型多自由度磁懸浮定位平臺的電磁特性進行仿真研究,主要研究內(nèi)容如下:1、根據(jù)電磁場的基本理論,分析磁懸浮定位平臺的基本工作原理,對比分析LL型形結(jié)構(gòu)磁懸浮定位平臺與TU型多自由度磁懸浮定位平臺原理結(jié)構(gòu),重點分析TU型多自由度磁懸浮定位平臺的磁路特性與受力特性。2、根據(jù)磁路分析結(jié)果,結(jié)合對各種磁性材料的分析,參考現(xiàn)有的資料,確定TU型多由度磁懸浮定位平臺的尺寸以及材料特性,并在MAXWELL中建立仿真模型。3、利用MAXWELL仿真軟件分析平臺靜態(tài)磁場分析,平臺結(jié)構(gòu)中T型動子與U型定子相對位置發(fā)生變化時,整個平臺磁場分布變化規(guī)律;研究T型動子與U型定子之間的氣隙高度對整個平臺磁場的影響規(guī)律。4、利用MAXWEL仿真軟件分析懸浮控制線圈的匝以及線圈中電流對平臺懸浮力影響規(guī)律;分析動子平面位置變化對懸浮力的影響。
【學(xué)位單位】：吉林大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位年份】：2017
【中圖分類】：TH703
【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 研究背景與研究意義
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.3 論文的組織結(jié)構(gòu)
第2章 磁懸浮定位平臺的結(jié)構(gòu)與原理
    2.1 磁懸浮定位平臺的基本結(jié)構(gòu)
    2.2 磁懸浮定位平臺工作原理
    2.3 磁路計算
    2.4 本章小結(jié)
第3章 磁懸浮平臺的電磁計算方法
    3.1 電磁計算方法概述
    3.2 MAXWELL 有限元仿真軟件
    3.3 仿真模型的建立
    3.4 本章小結(jié)
第4章 磁懸浮平臺的電磁特性仿真
    4.1 靜態(tài)磁場仿真
    4.2 氣隙高度對漏磁的影響
    4.3 懸浮力與線圈匝流關(guān)系
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)和展望
    5.1 論文總結(jié)
    5.2 未來展望
參考文獻
致謝

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本文編號：2884661