本文關(guān)鍵詞：大型光學(xué)表面納米精度制造　出處：《國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào)》2015年06期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 納米精度制造 光學(xué)制造 可控柔體拋光 磁流變拋光 離子束拋光

【摘要】：納米精度光學(xué)表面在光刻技術(shù)、同步輻射、空間觀測(cè)和慣約聚變等領(lǐng)域有重大需求。隨著裝備性能需求的不斷提升,這些光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光學(xué)零件面形精度和表面質(zhì)量的要求幾乎接近于物理極限,對(duì)光學(xué)制造技術(shù)提出了更高挑戰(zhàn),使光學(xué)制造成為納米制造技術(shù)的發(fā)展前沿。通過(guò)攻克納米量級(jí)材料去除的穩(wěn)定性、復(fù)雜曲面可控補(bǔ)償和裝備運(yùn)動(dòng)軸性能設(shè)計(jì)等關(guān)鍵問(wèn)題,掌握了以磁流變和離子束拋光技術(shù)為代表的可控柔體拋光技術(shù),利用自主研發(fā)的拋光制造裝備和工藝實(shí)現(xiàn)了典型光學(xué)零件的納米精度制造,為國(guó)家相關(guān)科技項(xiàng)目的順利實(shí)施提供有力的制造技術(shù)支撐。
[Abstract]:Nano-precision optical surfaces have great demand in lithography, synchrotron radiation, space observation and inertial fusion. The requirements of these optical systems for the surface shape accuracy and surface quality of optical parts are close to the physical limit, which poses a higher challenge to the optical manufacturing technology. Optical manufacturing has become the development frontier of nano-manufacturing technology. The key issues such as the stability of nanoscale material removal, the controllable compensation of complex surfaces and the performance design of moving axis of equipment are solved. The controllable flexible body polishing technology represented by magnetorheological and ion beam polishing technology is mastered. The nano precision manufacturing of typical optical parts is realized by using the polishing equipment and process developed by ourselves. To provide a strong manufacturing technology support for the smooth implementation of national related science and technology projects.
【作者單位】： 國(guó)防科技大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;超精密加工技術(shù)湖南省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51275521) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才資助計(jì)劃項(xiàng)目(NCET-12-0144)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 現(xiàn)代光學(xué)零件具有大口徑、(亞)納米精度、形狀復(fù)雜、表面低損傷等特點(diǎn),在空間觀測(cè)、微電子制造、慣約聚變、同步輻射等重大光學(xué)工程中有著廣泛應(yīng)用,其制造水平直接影響國(guó)家的核心競(jìng)爭(zhēng)力。光學(xué)零件高端加工技術(shù)和裝備也被美國(guó)等西方發(fā)達(dá)國(guó)家視為戰(zhàn)略資源,嚴(yán)格限制出口。因此,開

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 趙金仲;光學(xué)表面成型時(shí)相對(duì)瞬時(shí)速度的理論分析[J];北京工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào);1984年01期

2 張?jiān)?方加寶,劉欣,郭麗莎,陳懋圻;非軸對(duì)稱光學(xué)表面加工技術(shù)基礎(chǔ)研究[J];大連理工大學(xué)學(xué)報(bào);1993年06期

3 張?jiān)�，劉欣，方加寶，，陳懋�?微機(jī)在非軸對(duì)稱光學(xué)表面加工中的應(yīng)用[J];新技術(shù)新工藝;1995年01期

4 賀莉,朱天星,王艷紅,曲波;無(wú)規(guī)碰撞對(duì)光學(xué)表面統(tǒng)計(jì)特性的影響[J];長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)報(bào);2005年01期

5 侯海虹;;光學(xué)表面的光散射測(cè)量方法[J];常熟理工學(xué)院學(xué)報(bào);2008年08期

6 ;灰光學(xué)[J];儀器儀表通訊;1971年03期

7 德開;;超光滑光學(xué)表面的制造和評(píng)定[J];光學(xué)工程;1977年01期

8 Jay M.Eastman;鄭穎聰;;新光學(xué)表面微輪廓儀[J];國(guó)外計(jì)量;1985年02期

9 Tsuguo Kohno;馬素琳;;高精度光學(xué)表面?zhèn)鞲衅鱗J];國(guó)外計(jì)量;1990年03期

10 林躍，王潤(rùn)文;共光路外差干涉法精密測(cè)量光學(xué)表面[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1994年01期

相關(guān)會(huì)議論文 前7條

1 彭勇;季云松;田小強(qiáng);胡曉陽(yáng);雒仲祥;;光學(xué)表面瞬態(tài)形變測(cè)試技術(shù)實(shí)驗(yàn)研究[A];第十一屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2006年

2 馬占龍;李顯凌;劉健;王君林;;超光滑光學(xué)表面加工技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2010年光學(xué)大會(huì)論文集[C];2010年

3 李劍白;齊豪;李小蕓;楊勇;;關(guān)于光學(xué)表面微觀輪廓粗糙度標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)試方法的探討[A];第十四屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2012年

4 黨娟娟;田愛玲;;光學(xué)表面亞表層損傷檢測(cè)新方法介紹[A];2011西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2011年

5 王春慧;田愛玲;王紅軍;劉丙才;;光學(xué)表面SSD檢測(cè)方法綜述[A];2009年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2009年

6 劉剛;劉海;劉勇;;衛(wèi)星閃電成像儀用聚合物材料在光學(xué)表面的分子污染效應(yīng)[A];2011中國(guó)材料研討會(huì)論文摘要集[C];2011年

7 韓敬華;楊李茗;馮國(guó)英;胡建平;何長(zhǎng)濤;高胥華;;光學(xué)表面激光預(yù)處理的研究[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前2條

1 曾雪鋒;光學(xué)表面頻段誤差對(duì)成像質(zhì)量的影響研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

2 王貴林;SiC光學(xué)材料超精密研拋關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國(guó)人民解放軍國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2002年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前3條

1 王春慧;光學(xué)表面亞表層損傷檢測(cè)技術(shù)研究[D];西安工業(yè)大學(xué);2010年

2 董之然;基于分形理論的光學(xué)表面誤差評(píng)價(jià)方法研究[D];廈門大學(xué);2014年

3 徐瑞;1.57μm波段光學(xué)表面激光損傷閾值測(cè)試系統(tǒng)的研制[D];南京理工大學(xué);2012年

本文編號(hào)：1356842