本文關鍵詞：濺射深度剖析定量分析及其應用研究進展

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【摘要】：濺射深度剖析技術已廣泛應用于薄膜材料與功能多層膜結構中成分深度分布的表征,但由于其涉及復雜的濺射過程,樣品形貌的多樣性,探測信號來自距樣品表層不同的深度,新濺射技術的頻出,以及其應用范圍不斷的擴大,使得深度剖析定量分析的研究方興未艾.本文首先回顧了深度剖析定量分析方法的發(fā)展過程,特別對其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及為滿足高分辨率深度剖析數(shù)據(jù)的定量分析所進行的拓展進行了詳細的論述.給出了利用深度剖析定量分析方法確定深度分辨率、超晶格及分子結構的重構、多層膜界面間粗糙度及薄膜中擴散系數(shù)的實例.
【作者單位】： 汕頭大學理學院物理系;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(11274218) 國家自然科學基金與以色列科學基金(NSFC-ISF)共同資助的國際交流項目 科技部政府間科技合作交流項目
【分類號】：TB302
【正文快照】： 1引言濺射深度剖析已成為表面分析一種常規(guī)的檢測技術,被廣泛應用于半導體摻雜、涂層、特殊鋼鐵制造等工業(yè)領域的產(chǎn)品研發(fā)及質量控制,以及物理、化學、生物、先進材料等學術領域的基礎研究.由于濺射深度剖析實驗涉及到復雜的濺射過程,樣品的表面形貌,以及探測信號的信息深度,，

本文編號：1144747