高精度微結(jié)構(gòu)玻璃光學(xué)元件陣列模壓技術(shù)研究進(jìn)展
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【部分圖文】:
圖1金屬合金鍍膜
模具表面的鍍膜不僅要承受熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力,還要承受與熱侵蝕性熔融玻璃直接接觸而產(chǎn)生的腐蝕性熱化學(xué)環(huán)境,因此,鍍膜需滿足以下要求:(1)良好的熱穩(wěn)定性,即在成形溫度(350~800℃)下不老化;(2)足夠堅(jiān)固,具有足夠的抗熱沖擊性;(3)化學(xué)性質(zhì)高度穩(wěn)定,不與玻璃發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。常....
圖2不同加工方式下的非球面微結(jié)構(gòu)模具
在超精密金剛石切削加工微結(jié)構(gòu)陣列模具中,常采用金剛石工具同時(shí)控制兩個(gè)軸(X,Z)沿非球面目標(biāo)形狀進(jìn)行軸對(duì)稱非球面掃描加工,但是,此方法只能加工一個(gè)腔體(透鏡形狀)。在制造微結(jié)構(gòu)陣列模具時(shí)需要制造大量的子單元模具形狀,并且必須將它們精確地定位和組合,而單元模具間距誤差被限制在幾微米....
圖2不同加工方式下的非球面微結(jié)構(gòu)模具
圖2不同加工方式下的非球面微結(jié)構(gòu)模具利用超精密磨削加工微結(jié)構(gòu)模具時(shí),也會(huì)面臨與切削相同的工具磨損問(wèn)題。Yamamoto等[48]利用ULG-100D(SH3)四軸聯(lián)動(dòng)(X,Y,Z,C)磨床,采用樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石砂輪磨削復(fù)眼結(jié)構(gòu)的碳化鎢模具,獲得了PV為0.12μm的面形精度,....
圖3微陣列復(fù)眼透鏡磨削法及模具磨削成形精度[52]
利用超精密磨削加工微結(jié)構(gòu)模具時(shí),也會(huì)面臨與切削相同的工具磨損問(wèn)題。Yamamoto等[48]利用ULG-100D(SH3)四軸聯(lián)動(dòng)(X,Y,Z,C)磨床,采用樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石砂輪磨削復(fù)眼結(jié)構(gòu)的碳化鎢模具,獲得了PV為0.12μm的面形精度,如圖3所示。Suzuki等[49]開(kāi)發(fā)....
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